[原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 [复制链接]

课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 99<4t$KH  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。 b;S6'7Jf9  
本课将给出一个学习例子: _*O7l  
1. 镜片数22片 S5uJX#*;  
2. 物高31mm 0CPxIF&  
3. 物方数值孔径NA 0.2 d{er|$E?  
4. 波长为UV )
.pO2lLF4  
5. 像方晶圆尺寸是12.66mm J'oDOn.M  
6. 总长小于1200mm "6?lQw e  
!Tv?%? 2l  
这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 nN>J*02(  
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首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下： ^'m\D;
 
下面是对 DSEARCH 的输入： U z"sdi  
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 "gFxfWIA  
qs=Gj?GwGQ  
+ c`AE  
/+>)"D6'  
现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下： j:7*3@f  
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 ^;.T}c%N  
DW#
Bfo  
结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：SAVE RIGHT11. e"]"F{Q  
TYYp"wx  
现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入： *D2Nm9sl  
    COMBINE 23 WrNLGkt  
    RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。 *P`v^&  
现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。 =4eUAeH {w  
查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射）  多视场衍射 MTF，颜色为 M，然后运行 MMF |+98h&U~  
查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS 2gt+l?O<PS  
我们有了一个非常好的微光刻镜头。 7AFE-'S  
很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。 sI'a1$