摘要 m[v%Qe|~
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 =.l>Uw!
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设计任务 mR$0Ij/v
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纯相位传输的设计 ,{_56j^d,
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使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 <pM6fI6BD
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结构设计 O&sU Pv
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在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 %vbov}R
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使用TEA进行性能评估 ErFt5%FN.O
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在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 X9?0`6Li
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使用傅里叶模态法进行性能评估 h-x~:$Z,
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使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 -j1]H"-
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进一步优化–零阶调整 olKM0K
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无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 S+*>""=
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VirtualLab Fusion一瞥 ;f=.SJF
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ; P$ _:-C
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• 使用IFTA设计纯相位传输 Mb45UG#2
•在多运行模式下执行IFTA jy_4W!4a
•设计源于传输的DOE结构 [)il_3t
−结构设计[用例] BqDsf5}jpA
•使用采样表面定义光栅 Z?WVSJUVf
−使用接口配置光栅结构[用例] &|' NDcp
•参数运行的配置 8k+k\V{
−参数运行文档的使用[用例] t;u)_C,bmP
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VirtualLab Fusion技术 J|@D @\?7
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