[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 m)9N9Ii#)  
M iIH&z  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ]4SnOSV?S  
wm0vqY+N$  

图片:1-191204120226228.png

b $x<7l5C  
G?12?
2  
2. 建模任务 *9e T#dH  
*>%34m93  

图片:1-19120412030c28.png

TuY{c%qQ:  
VaZ+TE  
3. 干涉条纹的变化 K0 .f4o  
B'6^E#9  

图片:1-191204120352336.png

b1{~j]"$L  
J'^s5hxn+0  
4. 走进VirtualLab Fusion vai.",b=n6  
Y9~;6fg  

图片:1-1912041204141I.png

d_#\^!9  
pW O-YZ#+  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 d$)'?Sf]h  
!3Fj`Oh  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

p%Ae"#_X%  
EAo7(
d@  
6. VirtualLab Fusion 技术 wqBGJ   
=BY)>0?z  

图片:1-19120412051Q53.png