[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 D{7w!z  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 .TB"eUy  
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建模任务 p.JXSn  
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仿真干涉条纹 )r6EW`$  
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走进VirtualLab Fusion 8;gXg  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 7{kP}?  
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•设置输入场 zd%rs~*c  
−基本光源模型[教程视频] /8ynvhF#  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 @'FE2^~Jj  
•定义元件的位置和方向 ^z;JVrW  
− LPD II：位置和方向[教程视频] ]1`g^Z@ 0  
•正确设置通道以进行非序列追迹 f
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−非序列追迹的通道设置[用例] eTay>G  
•使用参数运行检查影响/变化 &p(0K4:  
−参数运行文档的使用[用例] ^c}J,tZ]  
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