[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 GblA
9F7  
=F|{#F  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Zpt\p7WQ  
!t"4!3  

图片:1-191209152110491.png

y RqL9t  
|]bsCmD  
建模任务 p%ki>p )E|  
PI {bmZ  
Xg6Jh``  
仿真干涉条纹 1er TldX  
1C+13LE$U  
{p2!|A&a  
走进VirtualLab Fusion  $
c!p&  
v&\Q8!r_  

图片:1-191209152K5539.png

<sbu;dQ`  
70?\ugxA  
VirtualLab Fusion中的工作流程 )D O?VRI  
r `=I  
•设置输入场 M/f<A$xx_  
−基本光源模型[教程视频] 38B2|x  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 gT.sjd  
•定义元件的位置和方向 &u."A3(  
− LPD II：位置和方向[教程视频] "S[450%  
•正确设置通道以进行非序列追迹 ,>a&"V^k  
−非序列追迹的通道设置[用例] "Fr.fhh'~  
•使用参数运行检查影响/变化 bL`TySX  
−参数运行文档的使用[用例] kt#fMd$  
[>I<#_
^~  

图片:1-191209152Tb56.png

M)Z7k/=<P  
>Er|Jxy  
VirtualLab Fusion技术 ;?Tbnn Wn  
z_$%-6