摘要
]CDUHz z9E*1B+ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
JCci*F#r G5ShheZd Qna*K7kv /[!<rhY 建模任务
~ ReX$9 Ol;DJV T+oOlug 仿真干涉条纹
6!SW]#sD 4v`G/w 1024L; 走进VirtualLab Fusion
dDa&:L t N4-<6 'Y/kF1,* yMt:L)+ VirtualLab Fusion中的工作流程
TfHL'u9B ^^F 8M0k3 •设置输入场
frc9 −
基本光源模型[教程视频]
/vC!__K9: •使用导入的数据自定义表面轮廓
}R/we` •定义元件的位置和方向
a#lytp −
LPD II:位置和方向[教程视频]
hkdF •正确设置通道以进行非
序列追迹
n6G&c4g<" −
非序列追迹的通道设置[用例]
DTa!vg •使用
参数运行检查影响/变化
Tv6y+l −
参数运行文档的使用[用例]
N6`U)=2o>h 2A:&Cqo *qu5o5Q &xZSM, VirtualLab Fusion技术
P-<1vfThH 6)BPDfU,