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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-07
    关键词: 干涉仪
    摘要 &F#K=R| .j  
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    扫描干涉是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 }IGoPCV|  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 wY6m^g$h3  
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    •设置输入场 '$\O*e'  
    基本光源模型[教程视频] /@QPJ~%8Ud  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ni`uO<\U  
    •定义元件的位置和方向 %UokR"  
    LPD II:位置和方向[教程视频] JOFQyhY0>m  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 AD^Q`7K?uR  
    非序列追迹的通道设置[用例] ATscP hk  
    •使用参数运行检查影响/变化 {~cM 6W]f  
    参数运行文档的使用[用例] 3P2x%Gp  
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    VirtualLab Fusion技术 hxe X6  
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