摘要
&F#K=R| .j eJwHeG 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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Tg~SGAc R;EdYbiF b 建模任务
n(tx'&U"R xb~8uD5 _/`H<@B_U 仿真干涉条纹
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:vDq' 走进VirtualLab Fusion
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k~=_]sLn *$yU|, VirtualLab Fusion中的工作流程
wY6m^g$h3 K#!c<Li# •设置输入场
'$\O*e' −
基本光源模型[教程视频]
/@QPJ~%8Ud •使用导入的数据自定义表面轮廓
ni`uO<\U •定义元件的位置和方向
%UokR" −
LPD II:位置和方向[教程视频]
JOFQyhY0>m •正确设置通道以进行非
序列追迹
AD^Q`7K?uR −
非序列追迹的通道设置[用例]
ATscP hk •使用
参数运行检查影响/变化
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参数运行文档的使用[用例]
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qe<aJn tqXr6+!Q VirtualLab Fusion技术
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