[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 R}\n@X*  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 N(L?F):fT  
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图片:1-191209152110491.png

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建模任务 kV+O|9  
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仿真干涉条纹 dzyp:\&9  
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走进VirtualLab Fusion Ra^GbT|Z
 
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图片:1-191209152K5539.png

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VirtualLab Fusion中的工作流程 o-%DL*^5  
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•设置输入场 @F0+t;  
−基本光源模型[教程视频] fr([g?F%D  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 mA>u6Rlc  
•定义元件的位置和方向 6$*Z
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− LPD II：位置和方向[教程视频] uj9IK  
•正确设置通道以进行非序列追迹 \t\ZyPxn  
−非序列追迹的通道设置[用例] 0'4V*Y  
•使用参数运行检查影响/变化 E]j2%}6Z%  
−参数运行文档的使用[用例] Q
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VirtualLab Fusion技术 J
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