摘要
O24m;oHM H!@kO]?n 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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&U{#Kt5q 建模任务
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EQ@IS:Y XP`Nf)3{Yd $ ux,9H'[ 仿真干涉条纹
q'+)t7! #9=Vg &]Q@7Nl7:l 走进VirtualLab Fusion
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ac *tGY6=7O VirtualLab Fusion中的工作流程
ov|d^)' 0q^>ZF-@ •设置输入场
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基本光源模型[教程视频]
ZVW'>M7. •使用导入的数据自定义表面轮廓
uY0lR:| •定义元件的位置和方向
;^+\K-O]c −
LPD II：位置和方向[教程视频]
!d'GE`w T •正确设置通道以进行非
序列追迹
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非序列追迹的通道设置[用例]
6S}, (= •使用
参数运行检查影响/变化
u]:oZMnj −
参数运行文档的使用[用例]
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9/9j+5}+ "RedK '7g VirtualLab Fusion技术
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