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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 3T /_#=9TV  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: Jim5Ul  
    t9.| i H  
    `[&%fTW+  
    首先,检查该光学系统MTF DH"_.j  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 yBCLS550  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 $T_>WUiK  
    "[sr0'g:  
    B@ >t$jK  
    l\TL=8u2c  
    显示的是短波的MTF。 y J>Bc  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 wn.UjxX.  
    `NQ;|!  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 09=w  
    有两种方法可供选择: Q?bC'147O  
    or"9I1o  
    (1) 局部相干图像分析 fjMmlp  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 s w50lId  
    k_nQmU>  
    ^}UFtL i  
    z2jS(N?J1  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 `*xSn+wL`_  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 [sK'jQo-[1  
    )Wk&c8|y  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 NAO0b5-h  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 vcZ"4%w  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 h(i_'P?  
    i&-g  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 +1K= ]#a  
    6%V#_]  
    HP=5 a.  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 4 g8t  
    Xif>ZL?aXb  
    (2)图像模拟 U^Iq]L  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 aqgm  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 {>3w"(f7o  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 ItE)h[86  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 ?[.g~DK,  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 P!!:p2fo  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 v?o("I[ C  
    M8VsU*aU  
    g@m__   
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 Pa{bkr  
    FX+^S?x.  
    {~V_6wY g  
    按照以下参数对仿真进行设置, PI)uBA;  
    C9j5Pd5q1L  
    \,G19o}`Es  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 Pu}PE-b  
    输入0.3作为视场的高度。 UdFYG^i  
    输入0.3作为视场的高度。 ~Q)Dcit-  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 U\q?tvn'J  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 D7C%Y^K]>E  
    仿真的图像如下所示。 h: zi8;(  
    P9]95.j  
    9abn6S(XpJ  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 _<jccQ  
    这种现象被称为 "伪像"。 V_9> Z?  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 nz`"f,  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 u73/#!(1=H  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 84gj%tw'-  
    ,-.=]r/s  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 F5<GGEQb  
    u2 U4MV1C  
    aIE\B4w  
    `4"&_ltD  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 *4 Kc "M  
    销售热线:027-87878386 HgRfMiC  
    咨询邮箱:market@ueotek.com 9z(h8H  
    e0<L^|S  
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