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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 |G6'GTwZD  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: T9r6,yY  
    N:+EGmp  
    -p7 HQ/  
    首先,检查该光学系统MTF ?^7X2 u$nm  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 N z=P1&G'  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 46\!W(O~y  
    \ /Q~C!  
    :-hVbS0I  
    ".#h$  
    显示的是短波的MTF。 %Q]thv:  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 ?LU>2!jN  
    UM21Cfqex  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 OQ<;w  
    有两种方法可供选择: awz.~c++  
    OR|Jc+LT  
    (1) 局部相干图像分析 $*_79F2zN  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 &P35\q   
    a[}?!G-Wt|  
    ".( G,TW  
    KE5>O1  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 {]m/15/$C  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 1LvR,V<  
    c3PA<q[  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 JHZjf7g$k  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 ^4\0, >  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 oGg<s3;UND  
    MMD=4;X  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 [Ran/D\.  
    Tl]yl$  
    7z/O#Fbs  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 y )<+?@sP  
    itiSZL,  
    (2)图像模拟 8+Gwv SDU  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 fN<Y3^i"  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 [4dX[  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 sP% b? 6  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 P39oHW  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 JdWav!PYm  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 =kK%,Mr  
    .We{W{  
    ty%,T.@e  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 UFj!7gX]  
    Up_"qD6  
    /Q:mUd  
    按照以下参数对仿真进行设置, Au(oKs<  
    H}CmSo8&  
    H<?s[MH[  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 MTNC{:Q  
    输入0.3作为视场的高度。 d1 kE)R  
    输入0.3作为视场的高度。 (#z6w#CU(  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 [io|qLr}\  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 Y5"HKW^  
    仿真的图像如下所示。 Z^_zcH'  
    0XqxW\8_l  
    N:+d=G`x  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 A McZm0c`  
    这种现象被称为 "伪像"。 ?FR-a Xx  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 H(M{hfa|  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 j}(m$j'  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 .EH1;/  
    YGc:84S  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 :l iDoGDi  
    JB.U&  
    ]0|A\bE\S  
    F=#V/ #ia  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 zf^|H% ~^  
    销售热线:027-87878386 fYh<S  
    咨询邮箱:market@ueotek.com x5/&,&m`%  
    ?gjx7TQ?  
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