Field Inside Component Analyzer: FMM使用户能够分析电磁场在微
纳米结构内部的分布。为此,任意周期结构(包括透射和反射、介质或金属
光栅)内的场通过应用傅里叶模态方法/严格耦合波分析法(FMM/RCWA)来计算。还可以指定场的哪一部分应该可视化:前向传播的场、后向传播的场或两者都要可视化。
~$,qgf 3iNkoBCg 寻找元件内部场分析仪:FMM F5T3E?_
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MgMD\ 元件内部场分析仪:FMM是光栅
光学设置的专用功能,可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
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: 8p^B hd R^&q-M=O[ /n,a?Ft^N) 评估模式 A*yi"{FLi
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EG<s_d? Xl-e ! 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场,可以只计算前向或后向传播模式,或两者的结合。
E8[T YA]5~ZE\ iJh!KEy~A5 pox,Im 前向传播模式 后向传播模式 前向和后向传播模式
6;b9swmh OS-f(qXd+ 评估区域 bZwnaM4"F ps|)cW3` VR?^HA9 s][24)99 光栅类型 |UUdz_i!: oYM3Rgxf9Q 元件内部场分析仪可以对任意形状的光栅结构进行分析。这里有几个例子。
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5I_ Yl cbW0'c 9WG{p[ 4_?7&G0( 光栅表面采样 UK[v6".^h
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clO,}Ph> J>vMo@ 光栅表面采样 c,\i"=!$ &