[技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

摘要 CD$u=E ]  
K7y!s :rg!  
在激光扫描系统中，F-Theta镜头通常被设计用于提供高性能。使用此类透镜，在目标平面上的聚焦点位移与焦距和扫描角度的产生成正比。这使得它们成为基于Galvo扫描器的激光材料处理系统的标准镜头。在VirtualLab Fusion中扫描源的帮助下，通过测量实际光斑位置与期望值之间的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了给定F-Theta透镜的性能。 `mQP{od?"?  
`8qT['`#R  

图片:1-200603230602A2.png

oT$(<$&<  
&P{o{  
建模任务 |q9,,i}!  
{: Am9B  

图片:1-200603230A3492.png

D6"~fjHh  
Qj{$dqmDN  
性能评估——光斑直径测量 h,Y{t?Of  
$ $W{HsX  

图片:1-200603230GYE.png

7Q<Kha  
wGZ>iLe:  
性能评估——光斑位置偏差 @|jKO5Y  
UA1]o5K  

图片:1-200603230J03N.png


d8VWi*  
V7Vbl?*n  
走进VirtualLab Fusion A?^A
*e  
& bp#1KR)  

图片:1-200603230Q3435.png

~pDRF(  
8N</Yi|n  
VirtualLab Fusion的工作流程 >F_qa=t%[  
Qq@_Z=mt  
 从Zemax OpticStudio®导入透镜系统 <yPq;#z(!  
- 从Zemax导入光学系统 [用例] 401/33yBJ  
Ncs4<"{$  
 分析实际透镜系统的成像性能 OtrXYiKB   
- 分析高NA物镜聚焦 [用例] z_)OWWdN  
FkB6*dm-  
 利用参数运行检查不同参数的影响 GF$rPY[  
- 参数运行文档的使用 [用例] %N?W]vbra  
dM>j<JC=  

图片:1-200603230T3256.png

;p?42rCIcl  
JI{OGr  
VirtualLab Fusion技术 ,E n(gm  
   /*mFP.en  

图片:1-200603230Z9E7.png