一、镀膜技术可区分为哪几类? MZiF];OY
可区分为:(1)真空蒸镀 (2)电镀 (3)化学反应 (4)热处理 (5)物理或机械处理 A xR\ned
二、蒸镀的加热方式包括哪几种?各具有何特点? Ris-tdg
加热方式分为: 4i96UvkZ
(1)电阻加热 (2)感应加热 (3)电子束加热 (4)雷射加热 (5)电弧加热 >!G5]?taa
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各具有的特点: `NoCH[$!+
(1)电阻加热:这是一种最简单的加热方法,设备便宜、操作容易是其优点。 x[a'(5PwY
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(2)感应加热:加热效率佳,升温快速,并可加热大容量。 `~KAk
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(3)电子束加热:这种加热方法是把数千eV之高能量电子,经磁场聚焦,直接撞击蒸发物加热,温度可以高达30000C。而它的电子的来源有二:高温金属产生的热电子,另一种电子的来源为中空阴极放电。 tQCj)Ms 'X
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(4)雷射加热:激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上,产生局部瞬间高温使其逃离。最早使用的是脉冲红宝雷射,而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高,因此准分子雷射的功率密度甚高,用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物,镀膜的品质甚佳.它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异,准分子雷射脱离的是微细的颗粒,后者则是以分子形式脱离。 gTyW#verh$
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(5)电弧加热: iQ0&