[求助]求助大佬，镀膜出来脏污点多，如何解决？ [复制链接]

离子源清洗和退膜出来都是干净的，但是到镀碳膜后。出来的模具表面都有2到4个点脏污。 ID{Pzmt-  
测试过镀膜500秒以下出来的是很好的，1000秒以上出来基本都有几个点。过滤滤网重新喷砂换过还是如此。真空度偶尔浮动不是马上恢复。抽真空时间很长怀疑真空有问题， lL(}dbT~N  
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请问一下造成上面的问题有哪些原因呢。

加  YKWQAZWSX

麻点原因太多了。 a_#eGe>  
1，你的工艺要讲清楚，某些镀膜材料本身容易喷溅，喷溅的时候会有真空波动。 )eedfb1
  
2，如果用离子源辅助，中和不足的情况下，会吸附镀膜材料的小颗粒到镀膜伞去。 ?6l,   
3，坩埚某些部位漏（冷却水或者空气都有可能），会造成气流将小颗粒吹到伞上。 R~seUW7uv"  
4，POLYCOLD化霜太快，会将盘管上的脏物爆到伞上去。 N%M>,wT  
你情况说的越具体，得到的答复针对性越高。否则都只能泛泛而谈。