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摘要 xUV_2n+ w`w `q' 在干涉仪中,条纹的对比度可能取决于光源的相干特性。例如,在具有一定带宽的光源的迈克尔逊干涉仪中,干涉条纹对比度随光程差的不同而变化。通过测量可动镜不同位置的干涉图对比度,可以得到光源的相干长度。典型的傅里叶变换光谱通常基于这种类型的光路。 ci#Zvhtkr =Td#2V;0 *=r@vQ S+4I[|T]Y 建模任务 iGpK\oH x`b~ZSNJ% 0YgFjd
5 g0[<9.ke 横向干涉条纹——50 nm带宽 fwz5{>ON] !M#?kKj
|sDG>Zq? vgd}09y 横向干涉条纹——100 nm带宽 bs4fyb 5+#?7J1 ?}!gLp !IQfeoT 逐点测量 E#WjoIk bF8xQ<i~Y
4 @ydK o)$Q]N## VirtualLab概览 o%9Ua9|RR y"%iD`{ !rN#PF> v>yGsJnV' VirtualLab Fusion的工作流程 3<Pyr-z h • 设置入射高斯场 !nqm ;96 - 基本光源模型 _
cHV3cz • 设置元件的位置和方向 ),W(TL - LPD II:位置和方向 )U3 H15 • 设置元件的非序列通道 ?3KR(6D - 用于非序列追迹的通道设置 3 z{5c jQw`*Y/,
8kn]_6:3i s|rZ>SLL VirtualLab技术 D+@/x{wX2 [f0oB$
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