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白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 7J##IH+z35 >L)Xyq 4TUe*F@
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{k>TjQ 使用参数运行检查影响/变化 : E]A51 - Usage of the Parameter Run Document [用例] wQ@@|Cj4L bZ:w_z[3=
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