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,lUo@+ 内容简介 <(iOzn Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 MVCCh+,GI 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 kju:/kY A 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 oacY-& ]uZH 0 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 $ D89|sy 目录 UOY1^wY Preface 1 T;% SB& 内容简介 2 %`TLs^ 目录 i Hy6Np62 1 引言 1
3ty){#: 2 光学薄膜基础 2 .3!4@l\9C 2.1 一般规则 2 XC$~! 2.2 正交入射规则 3 }dxdxnVt 2.3 斜入射规则 6 0eLK9u3< 2.4 精确计算 7 ?{2-,M0 2.5 相干性 8 -7`J(f.rYC 2.6 参考文献 10 n5i}J/Sa2 3 Essential Macleod的快速预览 10 &qC>*X. 4 Essential Macleod的特点 32 yx-"YV}5 4.1 容量和局限性 33 vZxy9Wmc 4.2 程序在哪里? 33 cBA[D~s 4.3 数据文件 35 mvw:E_ 4.4 设计规则 35 NplSkv 4.5 材料数据库和资料库 37 9p.>L8 4.5.1材料损失 38 <ZiO[dEV 4.5.1材料数据库和导入材料 39 S]N4o'K}q 4.5.2 材料库 41 H1]\B: 4.5.3导出材料数据 43 :uEp7Y4 4.6 常用单位 43 wnX6XyUH 4.7 插值和外推法 46 ^#o.WL%4/B 4.8 材料数据的平滑 50 e=_hfOUC 4.9 更多光学常数模型 54 l0_V-|x 4.10 文档的一般编辑规则 55 nAzr!$qbNv 4.11 撤销和重做 56 (tgaH,G 4.12 设计文档 57 `+uXL9mo 4.10.1 公式 58 4Y!v$r 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 <wC1+/] 4.10.3 沉积密度 59 ^kq! /c3r 4.10.4 平行和楔形介质 60 <'-me09C* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 a|NU)mgEI 4.10.4 性能 61 [OcD#~drO 4.10.5 保存设计和性能 64 |#wz)=mD 4.10.6 默认设计 64 A@ME7^w7 4.11 图表 64 J[l K 4.11.1 合并曲线图 67 Ce:ds% 4.11.2 自适应绘制 68 gUp0RPs 4.11.3 动态绘图 68 gm DC,"Y< 4.11.4 3D绘图 69 5glGlD6R 4.12 导入和导出 73 #7=LI\ 4.12.1 剪贴板 73 YLGLr@:q 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 H<;j&\$q 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 R 6Em^A/> 4.13 背景 77 RHbwq] 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 9YABr>
? 4.15 生成Rugate 84 #pfosC[ 4.16 参考文献 91 %a `dOEO 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 %Qq)=J<H; 5.1 Jobs 92 K}BX6dA 5.2 创建一个新Job(工作) 93 S41>VbtEp 5.3 输入材料 94 SO/]d70HG 5.4 设计数据文件夹 95 ; \+0H$ 5.5 默认设计 95 IJ;*N 6 细化和合成 97 OB22P% 6.1 优化介绍 97 ub5hX{uT 6.2 细化 (Refinement) 98 :8rCCop
Uv 6.3 合成 (Synthesis) 100 Kf#!IY][ 6.4 目标和评价函数 101 m12B:f 6.4.1 目标输入 102 G,*s9P]1 6.4.2 目标 103 7`HUwu 6.4.3 特殊的评价函数 104 fx:KH:q3 6.5 层锁定和连接 104 h>0<@UP 6.6 细化技术 104 M7,MxwZ0k 6.6.1 单纯形 105 4sjr\9IDC 6.6.1.1 单纯形参数 106
}8 _9V|E 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 yan[{h]EZ 6.6.2.1 Optimac参数 108 bq-\'h
f< 6.6.3 模拟退火算法 109 :g[x;Q[@ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ~-wJ#E3g 6.6.4 共轭梯度 111 lVtn$frp 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 7G/|e24 6.6.5 拟牛顿法 112 p]Zabky 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 4&hqeY3 6.6.6 针合成 113 j9'XZq} 6.6.6.1 针合成参数 114 -i5g 8t' 6.6.7 差分进化 114 y4We}/-< 6.6.8非局部细化 115 Gcz@ze 6.6.8.1非局部细化参数 115 &\|<3sd( 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ;<@6f @ 6.7.1 细化 116
iLcadX 6.7.2 合成 117 OG7v'vmY 6.8 参考文献 117 zB"
`i 7 导纳图及其他工具 118 ~PW}sN6ppG 7.1 简介 118 Sx9:$"3.X 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 vr;Br-8 7.2.1 四分之一波长规则 119 umZ
g}|C_ 7.2.2 导纳图 120 "4uUI_E9F; 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 XW_xNkpL5c 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 9$V_=Bo 7.5 斜入射导纳图 141 a {$k<@Ww 7.6 对称周期 141 " IkF/ 7.7 参考文献 142 G4%M$LJh 8 典型的镀膜实例 143 :#:O(K1PW 8.1 单层抗反射薄膜 145 0$ 9;pzr 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 C=aj& 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 *R\/#Y| 8.4 W-膜层 148 <C"N X 8.5 V-膜层 149 QC5f:BwM 8.6 V-膜层高折射基底 150 %^?3s5PXD 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 P,;b'-5C 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 -C-OG}XjI 8.9 四层抗反射薄膜 153 ]RXtC* 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 '=,rb 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "K+N f 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 acYoOW1G 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 U]! .~ji3
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 !E{GcK 8.15十五层宽带抗反射膜 159 {I9N6BQ& 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 EOPS? @ 8.17 1/4波长堆栈 162 c."bTq4tJ 8.18 陷波滤波器 163 Pm#x?1rAj 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;;w6b:}-c 8.20 褶皱 165 ,;cel^.b 8.21 消偏振分光器1 169 ]Z$TzT&@% 8.22 消偏振分光器2 171 '6.>Wdd 8.23 消偏振立体分光器 172 XAU_SPAjiw 8.24 消偏振截止滤光片 173 ]o[X+;Tj| 8.25 立体偏振分束器1 174 y@kcXlY 8.26 立方偏振分束器2 177 SGBVR ^ 8.27 相位延迟器 178 \at-"[. 8.28 红外截止器 179 o[6vxTH 8.29 21层长波带通滤波器 180 /nY).lSH 8.30 49层长波带通滤波器 181 xOVA1pb, 8.31 55层短波带通滤波器 182 $d2kHT 8.32 47 红外截止器 183 8_<&f%/ 8.33 宽带通滤波器 184 u 5Eo 8.34 诱导透射滤波器 186 ;zZ ,3pl-E 8.35 诱导透射滤波器2 188 LZUA+ x( 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 !v-w6WG" 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Z{a{H X[Jx 8.35 增益平坦滤波器 193 Wkg*J3O 8.38 啁啾反射镜 1 196 '0CXHjZN 8.39 啁啾反射镜2 198 )BF \!sTn 8.40 啁啾反射镜3 199 XN~#gm#
8.41 带保护层的铝膜层 200 dysX 8.42 增加铝反射率膜 201 %z-dM` i 8.43 参考文献 202 Y)Znb;`?a 9 多层膜 204 qeQC&U
y; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 &*(n<5wt 9.2 内部透过率 204
rV8(ia 9.3 内部透射率数据 205 ";)r*UgR{B 9.4 实例 206 B^i mG 9.5 实例2 210 *D=K{bUe' 9.6 圆锥和带宽计算 212 hi ;WFyJTu 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 NK+FQ^m[ 10 光学薄膜的颜色 216 %PQldPL8 10.1 导言 216 /e.FY9 10.2 色彩 216 3E<aiGU 10.3 主波长和纯度 220 O%YjWb 10.4 色相和纯度 221 (@%XWg 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 $"Y3mD}?L 10.6 色差 226 +Fk4{p 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 NniX/fk 10.8 颜色渲染指数 234 { A:LAAf[6 10.9 色差计算 235 _, \y2&KT 10.10 参考文献 236 5*JV )[ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6PiEa( 11.1 短脉冲 238 9Tzc(yCY 11.2 群速度 239 zo_k\K`{@ 11.3 群速度色散 241 r@|R-Binz 11.4 啁啾(chirped) 245 ^D9
/ 11.5 光学薄膜—相变 245 !?BW_vY 11.6 群延迟和延迟色散 246 536^PcJlN 11.7 色度色散 246 lP}o[Rd 11.8 色散补偿 249 _TZW|Dh-2F 11.9 空间光线偏移 256 Vn)%C_-]A 11.10 参考文献 258 MPjr_yc] 12 公差与误差 260 nped 12.1 蒙特卡罗模型 260 PASuf.U$" 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 XXXljh6 12.2.1 误差工具 267 L5R `w&Up 12.2.2 灵敏度工具 271 i B%XBR 12.2.2.1 独立灵敏度 271 &K06}[J 12.2.2.2 灵敏度分布 275 b+W)2rFO 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 O-i4_YdVt 12.3 参考文献 276 qO7fbql_ 13 Runsheet 与Simulator 277 h{\t*U54' 13.1 原理介绍 277 +z+F- 13.2 截止滤光片设计 277 )y6QAp 14 光学常数提取 289 ,(6)ghr 14.1 介绍 289 w"q-#,37j 14.2 电介质薄膜 289 6@&fvf 14.3 n 和k 的提取工具 295 jh>N_cp 14.4 基底的参数提取 302 ]n~yp5Nbr 14.5 金属的参数提取 306 P=2wkzeJj 14.6 不正确的模型 306 sD{j@WEZ 14.7 参考文献 311 bk.*k~_ 15 反演工程 313 YmOldR9v( 15.1 随机性和系统性 313 Z?-;.G* 15.2 常见的系统性问题 314 8IeI0f"l) 15.3 单层膜 314 ?qy*s3j'M 15.4 多层膜 314 V)=Z6 ti 15.5 含义 319 87pnSj/X" 15.6 反演工程实例 319 z23#G>I& 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 l/[pEUYU 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ^s=*J=k
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 vlvvi() 16.1 光学性质的热致偏移 329 ka/nQ~_#< 16.2 应力工具 335 I4ebkP gf 16.3 均匀性误差 339 $_wo6/J5+D 16.3.1 圆锥工具 339 0fA=_=A, 16.3.2 波前问题 341 fSbS(a 16.4 参考文献 343 @`6}`k 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 e#1.T 17.1 引言 345 3EI]bmi~ 17.2 操作数 345 \Yd4gaY\o 18 如何在Function中编写脚本 351 nX )f'[ 7 18.1 简介 351 pzi q0 18.2 什么是脚本? 351 BGN9,ii 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ,[Ag~.T 18.4 基础 352 EsTB(9c? 18.4.1 Classes(类别) 352 f9a$$nb3` 18.4.2 对象 352 ?.Q3 pUT 18.4.3 信息(Messages) 352 <1K7@Tu 18.4.4 属性 352 `UQEXoB) 18.4.5 方法 353 ,m:L2 -J@ 18.4.6 变量声明 353 C s#w72N 18.5 创建对象 354 )nOE8y/ 18.5.1 创建对象函数 355 <<sE`>) 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ~;8I5Sge 18.5.3 丢弃对象 356 I>aGp|4 18.5.4 总结 356 Q ?^4 \_ 18.6 脚本中的表格 357 e^8BV;+c 18.6.1 方法1 357 (-(QDRxK 18.6.2 方法2 357 4gb'7' 18.7 2D Plots in Scripts 358 YQ7@D]# 18.8 3D Plots in Scripts 359 ?!y"OrHg 18.9 注释 360 </=3g>9Z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 IJ_ m 18.11 一个更高级的脚本 362 d8o ewkiR 18.12 <esc>键 364 {E~Xd 18.13 包含文件 365 -?z\5z 18.14 脚本被优化调用 366 I0_Ecp 18.15 脚本中的对话框 368 x[x(y{&~ 18.15.1 介绍 368 l `R KqT+ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 5gshKmt_ 18.15.3 输入框函数 370 wDKELQ(yH 18.15.4 自定义对话框 371 3+V#[JBJv 18.15.5 对话框编辑器 371 $@.jZ_G 18.15.6 控制对话框 377 =?/&u< 18.15.7 更高级的对话框 380 PJK9704 6 18.16 Types语句 384 S3y246|4 18.17 打开文件 385 O|e} 18.18 Bags 387 E-SG8U; 18.13 进一步研究 388 ,v7Q *3 19 vStack 389 ,hvc``j
S8 19.1 vStack基本原理 389 f3#X0.': 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 bo>E"< 19.3 五棱镜 393 8UM0vNk 19.4 光束距离 396 ShGp^xVj 19.5 误差 399 ]0-<> 19.6 二向分色棱镜 399 {SdO9Yy?@7 19.7 偏振泄漏 404 VB"(9O] 19.8 波前误差—相位 405 =
F<:}Tx)C 19.9 其它计算参数 405 x7$ax79ly 20 报表生成器 406 $.8 H>c 20.1 入门 406 $^h?:L:1n 20.2 指令(Instructions) 406 -N# #w= 20.3 页面布局指令 406 /b%Q[
Ck_ 20.4 常见的参数图和三维图 407 X"<|Z]w 20.5 表格中的常见参数 408 :1_mfX 20.6 迭代指令 408 2Y+:,ud\ 20.7 报表模版 408 >rf5)Y~f 20.8 开始设计一个报表模版 409 i/$SN-5}1 21 一个新的project 413 C6^j#rl
21.1 创建一个新Job 414 gtYRV*^q 21.2 默认设计 415 m~>@BCn; 21.3 薄膜设计 416 J?D\$u: 21.4 误差的灵敏度计算 420 nk/vGa4 21.5 显色指数计算 422 (/?R9T[V&^ 21.6 电场分布 424 2w4MJ,Uw 后记 426 <L&eh&4c 有兴趣可以扫码加微联系 ;k}H(QI
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