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摘要 bM?29cs TYR \K 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 x;:jF_ 4Ng:7C2
)f^^hEIS AFBWiuwI3 寻找组件内部光场分析器: FMM P~lU`.X} iT|7**+3
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hg<[@Q%$o 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 2/A*\ G `3{Q7k uJ0'`Q?6R9 评估模式 -@]b7J?`k *CQZ6&^ :EYUBtTj j$s/YI: 评估区域 4bw4!z9G | X#!5u _4nm h0q4 X}x\n\Z 光栅类型 !"RRw&0M !'[?cEog
tKh 2v@B7r4} 光栅表面的采样 L[nDjQn" m`$Q/SyvG NMhpKno F1-C8V2H 光栅表面的采样 0J466H_d{ [Pjitw/? [.Fq
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