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摘要 g}\U, ( S7@ZtFf
组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 O('i*o4!}
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 XHwZ+=v SSSDl$}'t 寻找组件内部光场分析器： FMM n"K {uj))
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 WHhR )$zC [R@q]S/ 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 t?3{s\z 8+
Wl9I`Itg A>&>6O4 评估模式 5~<a>> ` $QzTv  u"Hd55"& ,=q7 }5o Y 评估区域 sqMNo n`5 '.}6] l  7DC0 W|Fe g:uaI 光栅类型 h0S y'] 3m >%jEo'0;_  'JW_]z1
n+RUPZ 光栅表面的采样 /pSUn"3 !4b; >y=m  4%#V^??E ]C!Y~ 光栅表面的采样 6\S$I5 X-;Qorb^  dg'CHxU
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