[讨论]有没有了解或者知道积分散射显微镜的？ [复制链接]

这种低成本的非接触显微镜，不知道前景如何？

不知道楼主指的是什么？显微镜基本上都是非接触式的

恩，没听说过。楼主简单介绍下吧

介绍一下,大家讨论讨论,希望这个特色版块打出名气.

哈哈，有人关注，真好！ eV?._-G  
$ BEIG@qG  
我还不太了解显微镜，上面的表述可能有常识性错误，海涵海涵！ F,t ,Ja  
G_fP%ovh  
所谓积分散射显微镜呢，主要是针对超光滑表面的，表面粗糙度1A量级，比如微电子中的硅片，以及激光腔的反射片透射片等。 \S[7-:Lu^  
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原理很简单，入射光打到样品表面，除了镜面反射之外，在各个方向（样品一侧的2派弧度内）都有微弱的散射光（Scattering），其强度分布可以从衍射理论推出，称为ARS分布；而把ARS在半球空间内积分，称为总积分散射（TIS），理论表明，TIS与样品表面粗糙度之间有个简单的关系，故可以通过测量TIS来得到样品的表面形貌。 $VWeo#b  
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所谓非接触主要是针对原子力显微镜（AFM）来讲的，因为AFM是可以测量到1A量级的，但是会损伤表面。 o\_@4hXf  
X*Ibk-PUM  
注：A为10的-10次方米。 mkA1Sh{hX>  
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不知我讲清楚没有，欢迎大家继续讨论。

是不是可以这样理解：由于所看样品表面非常光滑，其散射光很少，所以必须用积分的方法来观察？

再问问主要要看样品的什么指标呀

不是散射光少，而是微弱；虽然微弱，但还是能测的，单独测散射光（角分布）的叫微分散射仪。 sSisO?F!Z  
:r?gD2q  
积分的原因是TIS（总散射积分）可以反映表面粗糙度。 ,o$F~KPu  
8MHYk>O~{G  
主要看样品的表面粗糙度，要达到1A量级，就是能分辨这样的超光滑表面，找出好的片子和差的片子

那用途很窄呀,表面光洁度可以用金相显微镜来观察

呵呵，是有点窄，专门为我们的某个项目服务的。 +_.k\CRms  
不过应用领域还算可以的，微电子领域等都有应用，外国有很多人在搞 >FO4]  
呵呵，我们是做研究的，可能不那么重视市场