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`3yK<- 内容简介 Q@KCODi Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 y#zO1Nig` 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 "fu:hHq 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 0p]v#z} z3I
|jy1 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 nO+R>8,Q 目录 &P7Z_&34Z Preface 1 Z\3~7Ek2m 内容简介 2
"S H=|5+ 目录 i l"-Z#[ 1 引言 1 lhC hk7l 2 光学薄膜基础 2 2Gh&h( 2.1 一般规则 2 -}3nIk<N 2.2 正交入射规则 3 pO92cGJ8 2.3 斜入射规则 6 \@[,UZ 2.4 精确计算 7 l];/,J^ 2.5 相干性 8 A `{hKS 2.6 参考文献 10 \PWH(E9 3 Essential Macleod的快速预览 10 Zm0' p! 4 Essential Macleod的特点 32 5th?m> 4.1 容量和局限性 33 -9::M}^2 4.2 程序在哪里? 33 k.z(.uc= 4.3 数据文件 35 ,u>[cRqw 4.4 设计规则 35 q=}1ud}1 4.5 材料数据库和资料库 37 l dqU#{ 4.5.1材料损失 38 Q':hmulT! 4.5.1材料数据库和导入材料 39 >n^780S| 4.5.2 材料库 41 qVfl6q5 4.5.3导出材料数据 43 /3&MUB*z&y 4.6 常用单位 43 |{v#'";O: 4.7 插值和外推法 46 |kP utB 4.8 材料数据的平滑 50 P?S]Q19Q4 4.9 更多光学常数模型 54 C]p@7"l 4.10 文档的一般编辑规则 55 c]zFZJ6M 4.11 撤销和重做 56 3~VV2O 4.12 设计文档 57 C~R
?iZ.&U 4.10.1 公式 58 J#t-."f6^ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 w@<II-9L)< 4.10.3 沉积密度 59 +IO>% 4.10.4 平行和楔形介质 60 L$BV`JWPw 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 K_@?Q@#YhR 4.10.4 性能 61 }Ba_epM 4.10.5 保存设计和性能 64 Qe{w)e0}` 4.10.6 默认设计 64 ,yA[XAz~U 4.11 图表 64 'NZ=DSGIy 4.11.1 合并曲线图 67 vxHFNGI 4.11.2 自适应绘制 68 Qz3Z_V4k9 4.11.3 动态绘图 68 Ulx]4;uzf 4.11.4 3D绘图 69 %IZd-N7i^ 4.12 导入和导出 73 $rI 1|;^ 4.12.1 剪贴板 73 +FAj30 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
lPI~5N8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 /0 4US5En 4.13 背景 77 =MMd& 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 g4eW< 4.15 生成Rugate 84 6y~F'/ww 4.16 参考文献 91 QeG9CS)E}j 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 J|].h 5.1 Jobs 92 !~yBzH;K 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ;}j(x;l>t 5.3 输入材料 94 HA*L*:0 5.4 设计数据文件夹 95 Z Cjw)To( 5.5 默认设计 95 t:5-Ro 6 细化和合成 97 #
)y/aA 6.1 优化介绍 97 RQb}t, 6.2 细化 (Refinement) 98 V*{rHp{=p 6.3 合成 (Synthesis) 100 [IQ|c?DxpL 6.4 目标和评价函数 101 C!a1.&HHZ7 6.4.1 目标输入 102 XIbZ_G^ +D 6.4.2 目标 103 RGE(# 6.4.3 特殊的评价函数 104 avL_>7q 6.5 层锁定和连接 104 `r -jWK\ 6.6 细化技术 104
dw3Hk$"h 6.6.1 单纯形 105 :#pdyJQ_ 6.6.1.1 单纯形参数 106 3_~iq>l 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 %KXiB6<4 6.6.2.1 Optimac参数 108 X
3$ W60Q 6.6.3 模拟退火算法 109 z.!N|"4yr 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ;,C]WZ.w 6.6.4 共轭梯度 111 &J*M 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 L"NHr~ 6.6.5 拟牛顿法 112 r~lZ8$KC 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 *L$2M?xkY 6.6.6 针合成 113 ]MV8rC[\ 6.6.6.1 针合成参数 114 N);w~)MYh 6.6.7 差分进化 114 Wc[,kc 6.6.8非局部细化 115 sa(.Anmlj 6.6.8.1非局部细化参数 115 "(^XZAU#W 6.7 我应该使用哪种技术? 116 uv27Vos 6.7.1 细化 116 RhH1nf2UR 6.7.2 合成 117 Y~-y\l;Tr 6.8 参考文献 117 OegeZV 7 导纳图及其他工具 118 !qj[$x-ns 7.1 简介 118 B6Vlc{c5SO 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 M
9t7y 7.2.1 四分之一波长规则 119 _XV%}Xb' 7.2.2 导纳图 120 `t&{^ a&Y" 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 fI613ww] 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 pn
gto 7.5 斜入射导纳图 141 /Hyz]46 7.6 对称周期 141 Sw\*$g] 7.7 参考文献 142 /i'078F 8 典型的镀膜实例 143 d]pb1ECuu 8.1 单层抗反射薄膜 145 HU i?\4 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ,vJt!}} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 z%%O-1 8.4 W-膜层 148 ?Gki0^~J 8.5 V-膜层 149 rp||#v0l!w 8.6 V-膜层高折射基底 150 i#]e&Bru5 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 :"\,iH 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 [y[d7V9_o 8.9 四层抗反射薄膜 153 D(#f`Fj; 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 -{cHp 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 z1PwupXt1 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 sjr,)|#[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 =_7wd*, 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }}JMwT
8.15十五层宽带抗反射膜 159 elOeXYO0 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 %9J@##+ 8.17 1/4波长堆栈 162 ;*<tU
n^t 8.18 陷波滤波器 163 T{k
P9
4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 \k.`xG? 8.20 褶皱 165 7K1-.uQ 8.21 消偏振分光器1 169 QJGGce 8.22 消偏振分光器2 171 1F^Q* t{ 8.23 消偏振立体分光器 172 q@|+`>h 8.24 消偏振截止滤光片 173 Oj5UG* 8.25 立体偏振分束器1 174 g* q#VmE 8.26 立方偏振分束器2 177 %ou,|Dww 8.27 相位延迟器 178 XA>W>| 8.28 红外截止器 179 K4c:k;
V 8.29 21层长波带通滤波器 180 a1U|eLmUb 8.30 49层长波带通滤波器 181 e1m?g&[ 8.31 55层短波带通滤波器 182 !eLj +0 8.32 47 红外截止器 183 B0fOAP1 8.33 宽带通滤波器 184 KA5)]UF`l 8.34 诱导透射滤波器 186 "|SMRc 8.35 诱导透射滤波器2 188 RP4/:sO 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 liKlc]oM 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Jl
Do_} 8.35 增益平坦滤波器 193 ?\}Gi(VVE 8.38 啁啾反射镜 1 196 #~*v##^vFH 8.39 啁啾反射镜2 198 Da=EAG-{7 8.40 啁啾反射镜3 199 8Bf> 8.41 带保护层的铝膜层 200 BG>Y[u\N 8.42 增加铝反射率膜 201 ~MC|
8.43 参考文献 202 x84!/n^z 9 多层膜 204 4xy\ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 WE<?y_0y& 9.2 内部透过率 204 3db{Tcn\@] 9.3 内部透射率数据 205 b\k]Jx 9.4 实例 206 IC`3%^ 9.5 实例2 210 /WrB>w 9.6 圆锥和带宽计算 212 {%V(Dd[B6 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;O"?6d0 10 光学薄膜的颜色 216 oxwbq=a6yV 10.1 导言 216 9BCW2@Kp 10.2 色彩 216 XH%L] 10.3 主波长和纯度 220
*LT~:Gs# 10.4 色相和纯度 221 o>el"0rn.h 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Y[
G_OoU 10.6 色差 226 .Ro/ioq 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (m~>W"x/ 10.8 颜色渲染指数 234 88g3<& 10.9 色差计算 235 jk AjYR . 10.10 参考文献 236 XHr*Rs.[= 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 h3ygL" k 11.1 短脉冲 238 o-,."|6 11.2 群速度 239 vCzZjGBY 11.3 群速度色散 241 p~pD`'% 11.4 啁啾(chirped) 245 [);oj< 11.5 光学薄膜—相变 245 4ot<Uw5 11.6 群延迟和延迟色散 246 -9Q(3$} 11.7 色度色散 246 X8Z?G,[H 11.8 色散补偿 249 IpP%WW u 11.9 空间光线偏移 256 ke4E1T-1n 11.10 参考文献 258 Y-VDi.]W 12 公差与误差 260 th?+TNb^ 12.1 蒙特卡罗模型 260
q6
CrUn 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 7- B.<$uC 12.2.1 误差工具 267 ^QK`z@B 12.2.2 灵敏度工具 271 mG~_*8}e< 12.2.2.1 独立灵敏度 271 <_EKCk 12.2.2.2 灵敏度分布 275 u?osX;'w 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 k(gbUlCc 12.3 参考文献 276 5ut| eD`3 13 Runsheet 与Simulator 277 !8{VLg 13.1 原理介绍 277 5{c;I<0 13.2 截止滤光片设计 277 Ayz*2N`% 14 光学常数提取 289 @Jt$92i5PS 14.1 介绍 289 c4JV~VS+ 14.2 电介质薄膜 289 Ln"wjO, 14.3 n 和k 的提取工具 295 EX8JlA\-W 14.4 基底的参数提取 302 AIF?>wgq 14.5 金属的参数提取 306 m%'nk"p9 14.6 不正确的模型 306 hFtV\xFK 14.7 参考文献 311 inh0p^ 15 反演工程 313 _&gi4)q 15.1 随机性和系统性 313 u4x-GObJM 15.2 常见的系统性问题 314 *"%TAe7?~+ 15.3 单层膜 314 FO!Td 15.4 多层膜 314 a:FU- ^B4~ 15.5 含义 319 l;?:}\sI= 15.6 反演工程实例 319 ,jU>V]YC 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 qu=~\t1[6 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ?N#I2jxaD 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 I
_nQTWcm 16.1 光学性质的热致偏移 329 B#K gU&Loo 16.2 应力工具 335 -hd 16.3 均匀性误差 339 m#"_x{oa 16.3.1 圆锥工具 339 MZgaQU g 16.3.2 波前问题 341 }:m#}s 16.4 参考文献 343 ddn
IKkOp 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7B?Y.B 17.1 引言 345 {K^5q{u 17.2 操作数 345 qv!(In>u 18 如何在Function中编写脚本 351 kmQ:wf: 18.1 简介 351 `<XS5h
h= 18.2 什么是脚本? 351 HqGI. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 l*CulVX 18.4 基础 352 OC! {8MR 18.4.1 Classes(类别) 352 pdu1 kL 18.4.2 对象 352 u[a-9^&g 18.4.3 信息(Messages) 352 E-A9lJWr 18.4.4 属性 352 x]^d'o:cDP 18.4.5 方法 353 FFT)m^4p. 18.4.6 变量声明 353 lrrTeE* 18.5 创建对象 354 >a;a8EA<O 18.5.1 创建对象函数 355 YPK@BmAdE 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 0h-NT\m 18.5.3 丢弃对象 356 &3vm
@ 18.5.4 总结 356 GM|&,} 18.6 脚本中的表格 357 FZ*"^=)`G 18.6.1 方法1 357 2&hv6Y1 18.6.2 方法2 357 Hav &vV 18.7 2D Plots in Scripts 358 Np\NStx2 18.8 3D Plots in Scripts 359 ]TvMT 18.9 注释 360 6IqPZ{g9K' 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ZflB<cI 18.11 一个更高级的脚本 362 .Xlo-gHk 18.12 <esc>键 364 KOixFn1 18.13 包含文件 365 5Tn< 18.14 脚本被优化调用 366 ,Yag! i>; 18.15 脚本中的对话框 368 \kE0h\ 18.15.1 介绍 368 vfSPgUB) 18.15.2 消息框-MsgBox 368 mnTF40l 18.15.3 输入框函数 370 Q Xd`P4a 18.15.4 自定义对话框 371 N"9^A^w8k 18.15.5 对话框编辑器 371 'o='Q)Dk 18.15.6 控制对话框 377 It*U"4lgi 18.15.7 更高级的对话框 380 ju2H0AQ 18.16 Types语句 384 PKlR_#EB? 18.17 打开文件 385 EU(e5vO 18.18 Bags 387 PYQ0&;z 18.13 进一步研究 388 PqspoH
0OI 19 vStack 389 QPuc{NcB> 19.1 vStack基本原理 389 N8]DzE0% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Y[*.^l._ 19.3 五棱镜 393 &XNt/bK-? 19.4 光束距离 396 @(R=4LL 19.5 误差 399 {OG1' m6=/ 19.6 二向分色棱镜 399 D;sG9Hky 19.7 偏振泄漏 404 m%9Yo%l~ 19.8 波前误差—相位 405 `8ob Xb 19.9 其它计算参数 405 wOH:'sk[" 20 报表生成器 406 rBJ`=o z 20.1 入门 406
II'.vp 20.2 指令(Instructions) 406 UVDMYA0 20.3 页面布局指令 406 <*vR_?!
20.4 常见的参数图和三维图 407
c@A.jc 20.5 表格中的常见参数 408 VjM/'V5 20.6 迭代指令 408 8kK L= 20.7 报表模版 408 NG3?OAQTw 20.8 开始设计一个报表模版 409 8{Wl 21 一个新的project 413 {?Slo5X| 21.1 创建一个新Job 414 "Lvk?k
)hx 21.2 默认设计 415 fAh|43Y*a 21.3 薄膜设计 416 Le83[E*i 21.4 误差的灵敏度计算 420 jd]L}%ax 21.5 显色指数计算 422 "yymnIQ3u 21.6 电场分布 424 r?KRK?I 后记 426 7<LuL
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