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7!6v4ZA 内容简介 )31xl6@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 /\E3p6\* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 e8z?) 4T 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 .j"@7#tW 8N4E~*>C 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ]l 目录 1XHE:0!dQ Preface 1 ~O3VX75f 内容简介 2 @CC
6`D 目录 i QS-X_ 1 引言 1 (>*L-&- 2 光学薄膜基础 2 Z)}2bJwA 2.1 一般规则 2 g}*p(Tp9: 2.2 正交入射规则 3 OA[fQH#{lX 2.3 斜入射规则 6 &NI\<C7_Gw 2.4 精确计算 7 zN\C 2.5 相干性 8 :y_]JL;w 2.6 参考文献 10 Lu4>C 2{ 3 Essential Macleod的快速预览 10 5BM6Pnle 4 Essential Macleod的特点 32 NezE]'} 4.1 容量和局限性 33 Zk31|dL 4.2 程序在哪里? 33 !d95gq<=> 4.3 数据文件 35 NpS =_QeNw 4.4 设计规则 35 9LOq*0L_: 4.5 材料数据库和资料库 37 w)/~Gn676 4.5.1材料损失 38 6Z@T
/"mU( 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Ejyo
oO45 4.5.2 材料库 41 :fnK`RnaQ 4.5.3导出材料数据 43 <s'0<e!./t 4.6 常用单位 43 GX*9R> 4.7 插值和外推法 46 0sF|Y%N 4.8 材料数据的平滑 50 p.x2R,CU 4.9 更多光学常数模型 54 '7.4!I0' 4.10 文档的一般编辑规则 55 KfQR(e9n 4.11 撤销和重做 56 $A T kCO 4.12 设计文档 57 h)z2#qfc 4.10.1 公式 58 ,!P}Y[| 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 b]N&4t 4.10.3 沉积密度 59 Qp>Z&LvC5 4.10.4 平行和楔形介质 60 ylQ9Su>o 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 FRayB VHL 4.10.4 性能 61 S{,|Fa^PPO 4.10.5 保存设计和性能 64 w`gT]Rn 4.10.6 默认设计 64 U+!&~C^y 4.11 图表 64 ej\Sc7. 4.11.1 合并曲线图 67 #IU^(W 4.11.2 自适应绘制 68 A!R'/m'VG 4.11.3 动态绘图 68 =RQI5nHdw 4.11.4 3D绘图 69 `X<a(5[vV3 4.12 导入和导出 73 `^h:}V 4.12.1 剪贴板 73 Hk=HO|&<XB 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 pv"s!q& 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Sar1NkD# 4.13 背景 77 >G As&\4hs 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 eK}GBBdO 4.15 生成Rugate 84 K'f2S 4.16 参考文献 91 rU1Ri 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 1Afy$It/{ 5.1 Jobs 92 eL{$=Um 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Gz(l~!n~a 5.3 输入材料 94 jWdZ]0m 5.4 设计数据文件夹 95 >=.3Vydi1 5.5 默认设计 95 !-ZY_ 6 细化和合成 97 0;hn;(V]" 6.1 优化介绍 97 vb}c)w
dp? 6.2 细化 (Refinement) 98 > }kZXeR| 6.3 合成 (Synthesis) 100 #L57d 6.4 目标和评价函数 101 zMd><UQP{ 6.4.1 目标输入 102 OU!."r`9 6.4.2 目标 103 z";(0% 6.4.3 特殊的评价函数 104 ]EG8+K6 6.5 层锁定和连接 104 08! _B\ 6.6 细化技术 104 7U2B=]<e- 6.6.1 单纯形 105 kfZ(:3W$ 6.6.1.1 单纯形参数 106 8~&=vc 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ew]G@66 6.6.2.1 Optimac参数 108 m!=5Q S3Z 6.6.3 模拟退火算法 109 1qBE|PwBp 6.6.3.1 模拟退火参数 109 q+cD 6.6.4 共轭梯度 111 G\^<MR| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Mc$rsqDz 6.6.5 拟牛顿法 112 I&<'A[vHl 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 a2/Mf
6.6.6 针合成 113 }>V=J aG 6.6.6.1 针合成参数 114 Gl[1K/,* 6.6.7 差分进化 114 qVH.I6) 6.6.8非局部细化 115 9<3fH J?vq 6.6.8.1非局部细化参数 115 ?CcX>R-/ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 COmu.'%* 6.7.1 细化 116 34nfL: y 6.7.2 合成 117 bW=3X-) 6.8 参考文献 117 7PBE(d%m 7 导纳图及其他工具 118 Qqk(,1u 7.1 简介 118 Q>cE G" 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ,t:P 7.2.1 四分之一波长规则 119 T8Q_JQ 7.2.2 导纳图 120 {-f%g-@L6| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 i
^2A:6}? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 G;EJ\J6@Yw 7.5 斜入射导纳图 141 uX]]wj-R3 7.6 对称周期 141 VL'wrgk 7.7 参考文献 142 WWo"De@ 8 典型的镀膜实例 143 0rm(i*Q 8.1 单层抗反射薄膜 145 #9~,d<H 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 G?61P[j7 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Rw FA 8.4 W-膜层 148 =6'bGC%c 8.5 V-膜层 149 ck3+A/ !z 8.6 V-膜层高折射基底 150 UBk:B 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 dnQ6Ras 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 xq=!1> 8.9 四层抗反射薄膜 153 {<-wm-]mo 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 RDjw|V 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Z:es7<#y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 }^j8< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 e4tC[6 ; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 sLXM$SMBh 8.15十五层宽带抗反射膜 159 zmL
VFGnS 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 po,Ue>n/ 8.17 1/4波长堆栈 162 \7pEn 8.18 陷波滤波器 163 -Dy<B 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 _`p^B%[ 8.20 褶皱 165 p
.P#S 8.21 消偏振分光器1 169 } # L_R 8.22 消偏振分光器2 171 3la `S$c 8.23 消偏振立体分光器 172 \NEk B&^n 8.24 消偏振截止滤光片 173 c h((u(G 8.25 立体偏振分束器1 174 X%kJ3{ 8.26 立方偏振分束器2 177 UUb0[oy 8.27 相位延迟器 178 m^3j|'mG 8.28 红外截止器 179 ,^Q~w
b!{ 8.29 21层长波带通滤波器 180 V\opC6*L_e 8.30 49层长波带通滤波器 181 !H{>c@i 8.31 55层短波带通滤波器 182 O:pg+o& 8.32 47 红外截止器 183 DT)][V^w 8.33 宽带通滤波器 184 k;2.g$)W[c 8.34 诱导透射滤波器 186 <>Dw8?O
8.35 诱导透射滤波器2 188 YRr,{[e 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 d_0(;' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 UK1 )U)*+ 8.35 增益平坦滤波器 193 .:B>xg~2 8.38 啁啾反射镜 1 196 DHx&%]r;D 8.39 啁啾反射镜2 198 P8|ANe1
v 8.40 啁啾反射镜3 199 AI#.+PrC{/ 8.41 带保护层的铝膜层 200 "5O>egt 8.42 增加铝反射率膜 201 EltCtfm` 8.43 参考文献 202 l^B4.1rT 9 多层膜 204 vyB{35p$ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 @:#J^CsM+' 9.2 内部透过率 204 aNNRw(0/ 9.3 内部透射率数据 205 M0\gp@Fe 9.4 实例 206
bZ OCj1 9.5 实例2 210 Kg2Du'WQ^ 9.6 圆锥和带宽计算 212 b6sf1E 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
OVU)t] 10 光学薄膜的颜色 216 /x$JY\cq` 10.1 导言 216 '@h 10.2 色彩 216 _>kc: 10.3 主波长和纯度 220 5|N`:h'9M 10.4 色相和纯度 221 q5-i=lw 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 wvxz:~M 10.6 色差 226 %dq%+yw{%m 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 w?^[*_Y 10.8 颜色渲染指数 234 6sQ;Z |!Pz 10.9 色差计算 235 Ql l{;A 10.10 参考文献 236 <)T~_s 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 $x]/|u/9 11.1 短脉冲 238 "J2q|@. 11.2 群速度 239 ]?wz. 11.3 群速度色散 241 CI$z+zN 11.4 啁啾(chirped) 245 yt="kZ 11.5 光学薄膜—相变 245 SJMbYjn0J 11.6 群延迟和延迟色散 246 -T{2R:\{ 11.7 色度色散 246 j>:N0:
11.8 色散补偿 249 5;p|iT 11.9 空间光线偏移 256 |3!) 11.10 参考文献 258 *?HoN;^ 12 公差与误差 260 eI2HTFyT 12.1 蒙特卡罗模型 260 #{J~
km / 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 nK?S2/o#A 12.2.1 误差工具 267 $,U/,XA
{E 12.2.2 灵敏度工具 271 \R]2YY`EP 12.2.2.1 独立灵敏度 271
F;}JSb" 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <f8j^ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 .udLMS/_ 12.3 参考文献 276 U.P1KRY|= 13 Runsheet 与Simulator 277 0:u:#))1 13.1 原理介绍 277 V,d\Wk k/ 13.2 截止滤光片设计 277 {j]cL!Od 14 光学常数提取 289 JW^ ${4 14.1 介绍 289 JJ_Z{ 14.2 电介质薄膜 289 w?|qKO 14.3 n 和k 的提取工具 295 6Z J-oT!. 14.4 基底的参数提取 302 M."/"hV`- 14.5 金属的参数提取 306 d4\JM 65 14.6 不正确的模型 306 )?(Ux1:w) 14.7 参考文献 311 .<z7$lz\ 15 反演工程 313 v^t7)nx^ 15.1 随机性和系统性 313 Hv,ll1@h 15.2 常见的系统性问题 314 5o>`7(t` 15.3 单层膜 314 la-:"gKC 15.4 多层膜 314 M57<e`m 15.5 含义 319 W4 d32+V 15.6 反演工程实例 319 9cP{u$ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 `P !idg* 15.6.2 反演工程提取折射率 327 *9kg\# 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 O)VcW/ 16.1 光学性质的热致偏移 329 O$m &!J 16.2 应力工具 335 #\m.3!Hcr 16.3 均匀性误差 339 z`E=V 16.3.1 圆锥工具 339 a@W9\b@I 16.3.2 波前问题 341 2 A!*8w 16.4 参考文献 343 np6G~0Y` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 C{uT1` 17.1 引言 345 IBJNs$ 17.2 操作数 345 !s1<)%Jt 18 如何在Function中编写脚本 351 _&V,yp!|
18.1 简介 351 [(#)9/3, 18.2 什么是脚本? 351 l~]] RgU 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 v:/!OvLe 18.4 基础 352 M`'DD-Q 18.4.1 Classes(类别) 352 M3@qhEf?vk 18.4.2 对象 352 ]7W!f 2@ 18.4.3 信息(Messages) 352 {Oy|c 18.4.4 属性 352 JXe~
9/! 18.4.5 方法 353 87l*Y|osP 18.4.6 变量声明 353 J.4U;A5 18.5 创建对象 354 Nr>UZlU8 18.5.1 创建对象函数 355 [5p9p1@u{C 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 [y'blCb 18.5.3 丢弃对象 356 W&
0R/y7 18.5.4 总结 356 1#_pj
eG 18.6 脚本中的表格 357 16 `M=R 18.6.1 方法1 357 l5H5!$3~ 18.6.2 方法2 357 b,~pwbHf 18.7 2D Plots in Scripts 358 9Q s5e 18.8 3D Plots in Scripts 359 LS<+V+o2% 18.9 注释 360 L k
nK 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 oydP}X 18.11 一个更高级的脚本 362 ,>6a)2xh 18.12 <esc>键 364 4uoZw3O 18.13 包含文件 365 `I wZVz 18.14 脚本被优化调用 366 ]YhQQH1>] 18.15 脚本中的对话框 368 EDgtn)1 18.15.1 介绍 368 Y"8@\73(R 18.15.2 消息框-MsgBox 368 2ak]&ll+h 18.15.3 输入框函数 370 }'x)e 18.15.4 自定义对话框 371 $aJay]F 18.15.5 对话框编辑器 371 ff.k1%wr^ 18.15.6 控制对话框 377 Q34u>VkdQI 18.15.7 更高级的对话框 380 !vu-`u~86 18.16 Types语句 384 ,%IP27bPW 18.17 打开文件 385 `Ze$Bd\ 18.18 Bags 387 qF bj~ec 18.13 进一步研究 388 g tMR/P:S 19 vStack 389 ~v2(sRJ 19.1 vStack基本原理 389 &M?b08 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 LZ_VLW9wE 19.3 五棱镜 393 61kSCu 19.4 光束距离 396 b;
C}=gg 19.5 误差 399 dE,E,tv 19.6 二向分色棱镜 399 !% W5@tN 19.7 偏振泄漏 404 @B>D>B 19.8 波前误差—相位 405 S5>ztK.e 19.9 其它计算参数 405 G^dp9A 20 报表生成器 406 \a;xJzc9 20.1 入门 406 oZY|o0/9 20.2 指令(Instructions) 406 ?y>ji1 20.3 页面布局指令 406 xgIb6<qwY 20.4 常见的参数图和三维图 407 AA,/AKikd 20.5 表格中的常见参数 408 EL3X8H 20.6 迭代指令 408 5Q8 H8!^
20.7 报表模版 408 o#wly%i') 20.8 开始设计一个报表模版 409 +jB; 21 一个新的project 413 !zOj`lx 21.1 创建一个新Job 414 [#@lsI 21.2 默认设计 415 X5.9~ 21.3 薄膜设计 416 w#A\(z%;x 21.4 误差的灵敏度计算 420 7M~ /
q. 21.5 显色指数计算 422 MFa/%O_* 21.6 电场分布 424 NCi~. I 后记 426 2=K|kp5
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