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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    在线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 to8X=80-3  
    .,~(%#Wl$  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Z34Wbun4  
    )2UZ% ?V#  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 < XTU8G  
    ! / y!QXj  
    所需工具箱子:光栅工具箱 0w'j+  
    T&T/C@z'R  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 "'^4*o9  
    ]Ni$.@Hu$  
    建模任务 e&MC|US=\  
    zJ+8FWy:S  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 #QvMVy  
    [md u!!*  
    iDl;!b&V.  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 o }Tz"bN  
    !$A37j6  
    'B83m#HR#  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 %pu Lr'Y  
    \ JG8KE=j  
    p3ISWJa!  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Q@e[5RA +]  
    n[Zz]IO,g  
    pqvOJ#?Q}=  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 yix'rA-T  
    JB</euyV  
    0s#vwK13  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 OE)~yKy  
    YL jHt\  
    vgn@d,v  
    X线偏振光模拟结果:
    \&V0vN1  
    -71dN0hWh  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。  g]*  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 PI A)d-Z  
    #5sD{:f`  
    kH*Pn'  
    Y线偏光模拟结果  <VjJAu  
    QYXx:nIrg  
    B}OY /J/*8  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 p6EDQwlf  
    结论: 6 y"-I !&  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    RVtQ20e";r  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?