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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 L&=j O0_  
     m^rgzx19?  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 `2c>M\c4U  
     }hrLM[  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 F@Y)yi?z  
     :*gYzk8  
    所需工具箱子：光栅工具箱 |-4C[5rM  
     }M'h 5x  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 vZj^&/F$=g  
     ";E Mu(IXb  
    建模任务 #u~s,F$De  
    g9|B-1[  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 'c<vj jIg  
    ,C2qP3yg  
    rLs)*A!  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 n)uvN  
     J;h4)w~9H3  
    Z m9 e|J  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Bzn{~&i?W:  
     x^Tjs<#  
    j89|hG)2  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     /tl/%:U*.  
    fN~kd m.  
    jK/2n}q&]  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 [H;HrwM s)  
    sY+U$BYB>  
    4)BZ%1+  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 qb(#{Sw0  
    }3:DJ(Y  
    jIJVl \i]  
    X线偏振光模拟结果：
    r7Bv?M^!  
    9;2PoW8  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 V2sWcV?  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ' Bb]< L`  
    ATCFdtNc  
    @%&;V(  
    Y线偏光模拟结果 ";}Lf1M9  
    2K<rK(  
    .o91^jt  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 s<gZB:~  
    结论： Uov%12  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     ?g%5 d  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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