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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 {\-IAuM  
    9=;ETLL "  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 -o0~xspF  
    KRP)y{~o  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 uY=}w"Db  
    9Vv&\m!0  
    所需工具箱子:光栅工具箱 p\7(IhW@  
    dD"o~iEC  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 oNr~8CA`  
    zLLe3?8:  
    建模任务 >=Un=Q%  
    _&6&sp<n  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。  fj])  
    rgg3{bU/  
    F>A&L8  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 d/:zO4v3  
    t5pf4M7  
    kVe_2oQ_>  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。  $mG&4Y  
    P$i?%P~  
    efF>kcIC  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    j:{d'OV  
    t^qPQ;"=,  
    fhp][)g;  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 (""1[XURQK  
    3YF*TxKx  
    /xRPQ|  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Ym*Ed[S  
    9 &~Rj 9  
    ef=LPCi?  
    X线偏振光模拟结果:
    ZO $}m?  
    3M{/9rR[  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Yxt`Uvc(^h  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 <t0o{}^P*  
    \f_YJit  
    M[R\URu8  
    Y线偏光模拟结果 ;yO7!{_  
    :jq   
    9RoN,e8!  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 g2WDa'{L  
    结论: =?f\o*J)  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    .q1OT>  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?