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vrQ/Yf:\B 内容简介 !,|yrB&`S Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 mpN|U(n 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 \_0nH` 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 `WX @1]m >e'6RZRLA 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 7H9&\ur9+ 目录 /tDwgxJ Preface 1 ^~(@QfY 内容简介 2 e")s1` 目录 i sBB>O@4 1 引言 1 6[w_/X" 2 光学薄膜基础 2 <mi*AY 2.1 一般规则 2 'IKV%$k 2.2 正交入射规则 3 |3QKxS0 2.3 斜入射规则 6 x^xlH!Sc 2.4 精确计算 7 %h(J+_"L6 2.5 相干性 8 p^MV<}kk 2.6 参考文献 10 L>Y%$|4 3 Essential Macleod的快速预览 10
5Ta<$t 4 Essential Macleod的特点 32 (TgLCT[@T 4.1 容量和局限性 33 QS\H[?M$ 4.2 程序在哪里? 33 {f<2VeJ 4.3 数据文件 35 MZl6J 4.4 设计规则 35 ,_F@9Up 4.5 材料数据库和资料库 37 Hj2E -RwG 4.5.1材料损失 38 |W:xbtPNy 4.5.1材料数据库和导入材料 39 bM+}j+0 4.5.2 材料库 41 luY#l!mx3 4.5.3导出材料数据 43 8t25wPlx 4.6 常用单位 43 !EB<e5}8wK 4.7 插值和外推法 46 4|ML#aRz 4.8 材料数据的平滑 50 *QH@c3vUe\ 4.9 更多光学常数模型 54 4l_!OUvt 4.10 文档的一般编辑规则 55 W+k SL{0 4.11 撤销和重做 56 qkPvE;" 4.12 设计文档 57 nc4KeEl 4.10.1 公式 58 ckykRqk} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 6QO[!^lY 4.10.3 沉积密度 59 ps[HvV" 4.10.4 平行和楔形介质 60 4L)#ku$jW 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 /Ps/m! 4.10.4 性能 61 o"wvP~H 4.10.5 保存设计和性能 64 @komb IK 4.10.6 默认设计 64 |zd+
\o 4.11 图表 64 =hL;Q@inb 4.11.1 合并曲线图 67 rr~O6Db 4.11.2 自适应绘制 68 "Te[R%aP 4.11.3 动态绘图 68 $ S(<7[Z 4.11.4 3D绘图 69 ||yx?q6\h 4.12 导入和导出 73 ?VnA 4.12.1 剪贴板 73 N5_` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >oh7f| 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 pUF$Nq>og 4.13 背景 77 @ @uKOFA? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 q#D-}R_RN 4.15 生成Rugate 84 |2AMj0V~ 4.16 参考文献 91 DL<b)# h# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ]"q9 ~ 5.1 Jobs 92 1zIX
$A 5.2 创建一个新Job(工作) 93 IE]? WW5 5.3 输入材料 94 KJ (|skO 5.4 设计数据文件夹 95 Y.yiUf/Q 5.5 默认设计 95 }IJE% 6 细化和合成 97 }jdMo83 6.1 优化介绍 97 W?TvdeBx 6.2 细化 (Refinement) 98 1#tFO 6.3 合成 (Synthesis) 100 S(2_s,J^ 6.4 目标和评价函数 101 kLE("I:7 6.4.1 目标输入 102 Y'
FB
{ 6.4.2 目标 103 ^ruz-N^Y! 6.4.3 特殊的评价函数 104 W79Sz}): 6.5 层锁定和连接 104 MxLg8,M 6.6 细化技术 104 >bRoQ8 6.6.1 单纯形 105 5FMe & 6.6.1.1 单纯形参数 106 CXiDe)|<E 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 (4f]<Qt 6.6.2.1 Optimac参数 108 )gVz?-u+D 6.6.3 模拟退火算法 109 p!/!ZIo 6.6.3.1 模拟退火参数 109 WBN3:Y7 6.6.4 共轭梯度 111 0?,<7}"<X 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 M!R=&a=Z 6.6.5 拟牛顿法 112 |1%eo. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 L_`D 6.6.6 针合成 113 L/ g8@G
; 6.6.6.1 针合成参数 114 ^#gJf*'UE 6.6.7 差分进化 114 gT_tR_g 6.6.8非局部细化 115 -JfqY?Ue_2 6.6.8.1非局部细化参数 115 xp*Wf#BF 6.7 我应该使用哪种技术? 116 <sTY<i VR 6.7.1 细化 116 =Jax T90x 6.7.2 合成 117 V7<w9MM 6.8 参考文献 117 NG5k9pJ 7 导纳图及其他工具 118 ~F"w 7.1 简介 118 1<G, 0Lt 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 i~"lcgoO 7.2.1 四分之一波长规则 119 lJ
Jn@A 7.2.2 导纳图 120 U<|*V5 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 I]ZksC 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 IOddu2.( 7.5 斜入射导纳图 141 }ijFvIHV 7.6 对称周期 141 zI= 9 7.7 参考文献 142 Y41b8.|P+ 8 典型的镀膜实例 143 h$]nfHi_Q 8.1 单层抗反射薄膜 145 Qk2*=BVh 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 d(YAH@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 *X!+wK-+ 8.4 W-膜层 148 .npD<* 8.5 V-膜层 149 &})Zqc3Lqk 8.6 V-膜层高折射基底 150 mtf><YU 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 SveP:uJA[ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >~O/ZDu/@ 8.9 四层抗反射薄膜 153 |JiN;
O+K 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 /Yj; '\3 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !{F\\D/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 XnKf<|j6k 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 uHuL9Q^ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 &,QBJx<# 8.15十五层宽带抗反射膜 159 qzWnl[3 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 \I7&F82e 8.17 1/4波长堆栈 162 I@kMM12>c 8.18 陷波滤波器 163 _D{{C 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 4}t$Lf_ 8.20 褶皱 165 &hEkm 8.21 消偏振分光器1 169 h
^Wm03w 8.22 消偏振分光器2 171 [+!~RV_ 8.23 消偏振立体分光器 172 S]ed96V v 8.24 消偏振截止滤光片 173 v2ab84
C* 8.25 立体偏振分束器1 174 WtlLqD!_D 8.26 立方偏振分束器2 177 1QbD]"=n 8.27 相位延迟器 178 G%dzJpC(
8.28 红外截止器 179 LYuMR,7E 8.29 21层长波带通滤波器 180
uyoV) 8.30 49层长波带通滤波器 181 u)~::2BXAn 8.31 55层短波带通滤波器 182 $'w>doUlA 8.32 47 红外截止器 183 }-@h H( 8.33 宽带通滤波器 184 2UMX%+ "J 8.34 诱导透射滤波器 186 WS+uK b^< 8.35 诱导透射滤波器2 188 g6H` uO 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 r@CbhD 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 K7ZRj\(CJv 8.35 增益平坦滤波器 193 b~;M&Y 8.38 啁啾反射镜 1 196 dW%;Z 8.39 啁啾反射镜2 198 acI%fYw5p` 8.40 啁啾反射镜3 199 /~+j[oB 8.41 带保护层的铝膜层 200 fS4 Ru 8.42 增加铝反射率膜 201 X
CHN'l' 8.43 参考文献 202 nc?Oj
B 9 多层膜 204 yG<Q t+D 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 k^%F4d3z@C 9.2 内部透过率 204 H284
]i 9.3 内部透射率数据 205 v"sN
K 9.4 实例 206 ~V/?/J$ 9.5 实例2 210 rs@qC>_C0 9.6 圆锥和带宽计算 212 {;= {abj 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ,ysn7Y{Y 10 光学薄膜的颜色 216 gFxa UrZA 10.1 导言 216 Cp]q>lM" 10.2 色彩 216 (X|lK.W y 10.3 主波长和纯度 220 tj: >o#D 10.4 色相和纯度 221 3Ol`i$ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 > M4QEv 10.6 色差 226 @}tk/7-E 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 cC$E"m 10.8 颜色渲染指数 234 \Bn$b2j!% 10.9 色差计算 235 &z"yls 10.10 参考文献 236 $B@K 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
Lu~M=Fh 11.1 短脉冲 238 [4HOWM>\ 11.2 群速度 239 xilA`uw`1 11.3 群速度色散 241 B3yp2tncj 11.4 啁啾(chirped) 245 BoXGoFn 11.5 光学薄膜—相变 245 6zJ>n~&( 11.6 群延迟和延迟色散 246 Nk shJ2 11.7 色度色散 246 rY(^6[ ! 11.8 色散补偿 249 ,IG?(CK| 11.9 空间光线偏移 256 ^/jALA9! 11.10 参考文献 258 K[i|OZWu 12 公差与误差 260 Z"a]AsG/Q# 12.1 蒙特卡罗模型 260 H_7X%TvXb 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ~[
x} 12.2.1 误差工具 267 xkkW?[& 12.2.2 灵敏度工具 271 \Zo
xJ& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 EXT_x q 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9h'klaE( 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 z_en. 12.3 参考文献 276 !e:HE/&>i 13 Runsheet 与Simulator 277 }P"JP[#E\ 13.1 原理介绍 277 -W XZOdUjs 13.2 截止滤光片设计 277 AME6Zu3Y 14 光学常数提取 289 ;Z}V}B 14.1 介绍 289 2~SjRIp Uw 14.2 电介质薄膜 289 vq*)2. 14.3 n 和k 的提取工具 295 &B>YiA 14.4 基底的参数提取 302 Q2ky| 14.5 金属的参数提取 306 |%-:qk4rG 14.6 不正确的模型 306 s~Od(,K 14.7 参考文献 311 D3-H!TFpDb 15 反演工程 313 [)83X\CO 15.1 随机性和系统性 313 X8=sk 15.2 常见的系统性问题 314 ^DS+O> 15.3 单层膜 314 @~`2Lo/ 15.4 多层膜 314 gDjs:]/YR 15.5 含义 319 4).>b3OhX 15.6 反演工程实例 319 6z80Y*|eJ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 p*Hbc|?{Q& 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ZCS{D 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 p;m2RHYF 16.1 光学性质的热致偏移 329 (3+:/,{'$ 16.2 应力工具 335 1?bX$$yl; 16.3 均匀性误差 339 t&=]>blIs 16.3.1 圆锥工具 339 &GH,is 16.3.2 波前问题 341 :]oR x 16.4 参考文献 343 y #Xq@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 wH Q$F(by 17.1 引言 345 =~~Y@eX 17.2 操作数 345 -l`1j6 18 如何在Function中编写脚本 351 UP}5E h 18.1 简介 351 L(i*v5? 18.2 什么是脚本? 351 A9HJWKO 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 K@zzseQ}= 18.4 基础 352 '@<aS?@!t 18.4.1 Classes(类别) 352 vS|uN(a.P 18.4.2 对象 352 P ME
?{%& 18.4.3 信息(Messages) 352 p x1{=~V/ 18.4.4 属性 352 $}G03G@ 18.4.5 方法 353 Z:PsQ~M 18.4.6 变量声明 353
uT??t=vb 18.5 创建对象 354
Qpc+1{BQ 18.5.1 创建对象函数 355 O8N\ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 YdK]%% 18.5.3 丢弃对象 356 ,HFoy-Yq 18.5.4 总结 356 *M_Gu{xc 18.6 脚本中的表格 357 zp2IpYQ,3 18.6.1 方法1 357 "38ya2* 18.6.2 方法2 357 wcT0XXh 18.7 2D Plots in Scripts 358 '_~=C-g 18.8 3D Plots in Scripts 359 &T8prE? 18.9 注释 360 6/Coi,om 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 P#g"c.?; 18.11 一个更高级的脚本 362 Jy x6{Oj 18.12 <esc>键 364 (f 0p 18.13 包含文件 365 q.OkZI0n 18.14 脚本被优化调用 366 : qKxm( 18.15 脚本中的对话框 368 E(e'qL 18.15.1 介绍 368 =_`4HDr 18.15.2 消息框-MsgBox 368 q=5#t~? 18.15.3 输入框函数 370 x-5XOqD{' 18.15.4 自定义对话框 371 5CxD ys&< 18.15.5 对话框编辑器 371 i[~oMwc& 18.15.6 控制对话框 377 K>TdN+Z}= 18.15.7 更高级的对话框 380 wPDA_ns~ 18.16 Types语句 384 u $N2uFc 18.17 打开文件 385 | 1Fy 18.18 Bags 387 dE+xU(\,w 18.13 进一步研究 388 _-*Lj;^V 19 vStack 389 <aR8fU 19.1 vStack基本原理 389 .pgTp X 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 .VVY]>bJg@ 19.3 五棱镜 393 =>Vo|LBoe 19.4 光束距离 396 63d'
fgVp 19.5 误差 399 &Z_W*D 19.6 二向分色棱镜 399 9&=~_,wJd 19.7 偏振泄漏 404 .,pGW8Js 19.8 波前误差—相位 405
t]Xdzy 19.9 其它计算参数 405 bmEo5f~C! 20 报表生成器 406 Zi=Nr3b 20.1 入门 406 M?4)U"_VE 20.2 指令(Instructions) 406 )k0P' zGb 20.3 页面布局指令 406 Yw=Ve 0 20.4 常见的参数图和三维图 407 kmM1)- v 20.5 表格中的常见参数 408 <@}~Fp@ 20.6 迭代指令 408 (z0S5#g
,x 20.7 报表模版 408 0+0+%#? 20.8 开始设计一个报表模版 409 DKCPi 0 21 一个新的project 413 s% "MaDz 21.1 创建一个新Job 414 |~bl%g8xP 21.2 默认设计 415 E8WOXoP( 21.3 薄膜设计 416 yVm~5Y&Z 21.4 误差的灵敏度计算 420 rS>JzbWa 21.5 显色指数计算 422 \cdNyVY 21.6 电场分布 424 )eNR4nF 后记 426 y88FT#hR|5
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