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    [技术]JCMsuite应用：一维周期线栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-05
    这是一维周期线栅的简单案例。周期单元包含通过光栅的二维截面。在这种情况下，线栅的横截面呈梯形，它位于衬底上，被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。 x{?sn  
    光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度。 l?<q YjI  
    S偏振光照明的近场强度
    P偏振光照明的近场强度 tUv3jq)n%  
    后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。  Oq}ip  
     6Hl < ,(vn  
    参数扫描 <p/MyqZf  
     Ko+al{2  
    Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度： m_$JWv\|\  
    \ j:AR4  
    在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定时，线栅的宽度从150nm增至250nm。这将产生以下线栅宽度依赖关系： 7*MU2gb  
    vzcz<i )  
     
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