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:t9(T?2 内容简介 I"Y?vj9] Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ?Tb'J`MO 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 -XD\,y%zi 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 jS|(g##4 w;{k\=W3Ff 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 qH"0?<$9 目录 J&
yDX> Preface 1 (Z6[a{}1i 内容简介 2 f)N67z6 目录 i ITq+Hk
R 1 引言 1 i~k?k.t8 2 光学薄膜基础 2 r\_aux^z 2.1 一般规则 2 kZf7 2.2 正交入射规则 3 x"_f$,:! 2.3 斜入射规则 6 gY;N>Yq,C 2.4 精确计算 7 C,jPr )6) 2.5 相干性 8 tHhY1[A8m 2.6 参考文献 10 0.&gm@A~c$ 3 Essential Macleod的快速预览 10 )pJ}o&J 4 Essential Macleod的特点 32 ,CwhpW\Y 4.1 容量和局限性 33 p4(- 4.2 程序在哪里? 33 x"U/M?l 4.3 数据文件 35 Gf]oRNP,N 4.4 设计规则 35 "ve?7&G7U 4.5 材料数据库和资料库 37 >-+MWu= 4.5.1材料损失 38 _czLKbcF 4.5.1材料数据库和导入材料 39 2c9@n9Vx3a 4.5.2 材料库 41 v
mw7H 4.5.3导出材料数据 43 cS{ l2}E 4.6 常用单位 43 c|ZZ+2IYd 4.7 插值和外推法 46 f~W.i] 4.8 材料数据的平滑 50 h-!(O^M 4.9 更多光学常数模型 54 K\n %&w 4.10 文档的一般编辑规则 55 ~x>IN1Vci 4.11 撤销和重做 56 0nhsjN}v 4.12 设计文档 57 ZFrK'BvbR 4.10.1 公式 58 w&C SE 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 d5sGt# 4.10.3 沉积密度 59 -c|O!Lc- 4.10.4 平行和楔形介质 60 cDE?X o'! 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 F fl`;M 4.10.4 性能 61 bYG}CO 4.10.5 保存设计和性能 64 FKL}6W: 4.10.6 默认设计 64 %'^m6^g; 4.11 图表 64 RTF{<,E.UX 4.11.1 合并曲线图 67 vR+(7^Yy 4.11.2 自适应绘制 68 ho^1T3 4.11.3 动态绘图 68 Hk3HzN3 4.11.4 3D绘图 69 `b9oH^}n j 4.12 导入和导出 73 0ZPPt(7 4.12.1 剪贴板 73 unjo& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 *7!}[ v_ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 B}r@x z 4.13 背景 77 Km\M/j| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 QC ?8 4.15 生成Rugate 84 B-M|}T 4.16 参考文献 91 H]@Zp"7 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 | b@?]M 5.1 Jobs 92 i?*&1i@ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 $OjsaE% 5.3 输入材料 94 )t)tk=R9N 5.4 设计数据文件夹 95 /D)@y548~~ 5.5 默认设计 95 T_YN^za(q 6 细化和合成 97 vi lNl| 6.1 优化介绍 97 8|yhe%-O 6.2 细化 (Refinement) 98 KHF5Nt 6.3 合成 (Synthesis) 100 4.??U!r>KI 6.4 目标和评价函数 101 P[gk9{sv 6.4.1 目标输入 102 'HOcK8}b 6.4.2 目标 103 =X% D;2 6.4.3 特殊的评价函数 104 #gsAwna3 6.5 层锁定和连接 104 _);1dcnR 6.6 细化技术 104 .fQDj{ 6.6.1 单纯形 105 |vEfE{ 6.6.1.1 单纯形参数 106 *%8,G'"r? 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Z\dILt:#z 6.6.2.1 Optimac参数 108 -4GSGR'L&y 6.6.3 模拟退火算法 109 (S9"(\A 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ts9N$?0:V 6.6.4 共轭梯度 111 "q]v2t 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 @h^5*M 6.6.5 拟牛顿法 112 1l1X1 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 {9C(\i + 6.6.6 针合成 113 fI}-?@ 6.6.6.1 针合成参数 114 ;{HxY98Q 6.6.7 差分进化 114 m=%W <8[V 6.6.8非局部细化 115 Snh\Fgdz 6.6.8.1非局部细化参数 115 Of:e6N 6.7 我应该使用哪种技术? 116 oZOFZ-< 6.7.1 细化 116 +cjNA2@ 6.7.2 合成 117 CR,
Y%0vQ 6.8 参考文献 117 :%!SzI? 7 导纳图及其他工具 118 _Zb_9& 7.1 简介 118 &dOV0y_ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 BAzqdG 7.2.1 四分之一波长规则 119 eZg31. 7.2.2 导纳图 120 $ g1p! 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 hpAIIgn 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 -,XS2[ 7.5 斜入射导纳图 141 fnB-?8K< 7.6 对称周期 141 EE%OD~u&9# 7.7 参考文献 142 aIqNNR 8 典型的镀膜实例 143 S!.xmc\ 8.1 单层抗反射薄膜 145 bF B;N+> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 lzxn} TO} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,QKG$F 8.4 W-膜层 148 +S3'ms 8.5 V-膜层 149 *wh'4i}u 8.6 V-膜层高折射基底 150 nq6]?ZJ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 "rAm6b-` 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 MTLcLmdO 8.9 四层抗反射薄膜 153 :ye)%UU"|: 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 J^t=.-a| 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 MfYe @;m 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 y`(z_5ClT 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 u2Rmp4] 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 mZq*o<kTA 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4@8i,q> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 }i/{8OuW 8.17 1/4波长堆栈 162 ?Bh} 8.18 陷波滤波器 163 v $pARt 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ?V7[,I1? 8.20 褶皱 165 -lAA,}&+! 8.21 消偏振分光器1 169 co~TQpy^ 8.22 消偏振分光器2 171 Gjv'$O2_ 8.23 消偏振立体分光器 172 zGz5|u 8.24 消偏振截止滤光片 173 WP}__1!%u 8.25 立体偏振分束器1 174 L(8Q%oX%o 8.26 立方偏振分束器2 177 @aj"12 8.27 相位延迟器 178 _$fxo D9 8.28 红外截止器 179 x80~j(uVf 8.29 21层长波带通滤波器 180 ]k,fEn( 8.30 49层长波带通滤波器 181 I7[+:?2 8.31 55层短波带通滤波器 182 Mq*Sp
UR 8.32 47 红外截止器 183 FE_n+^|k< 8.33 宽带通滤波器 184 `ZNjA},. 8.34 诱导透射滤波器 186 ;dB=/U>3U 8.35 诱导透射滤波器2 188 %!eK"DKG^ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 67n1s 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 if`/LJsa 8.35 增益平坦滤波器 193 Hq%`DWus\ 8.38 啁啾反射镜 1 196 y"){? 8.39 啁啾反射镜2 198 g@1MImc'! 8.40 啁啾反射镜3 199 "M? (Ax 8.41 带保护层的铝膜层 200 3w^q 0/GD 8.42 增加铝反射率膜 201 c<4pu 8.43 参考文献 202 xE0+3@_>> 9 多层膜 204 $jw!DrE 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 g8vN^nQf[ 9.2 内部透过率 204 u' r;-|7 9.3 内部透射率数据 205 @V< |