电子枪主要技术指标: +g1+,?cU
!)J$f_88D
Gf~^Xv!T
,N_V(Cx5pt
1、 电子束偏转角:270°; X
g7xy>{]
Z;R/!Py.
A 3q#,%
#4nBov3d
2、 高压输出:-4KV ~ -10KV;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%; Kxh WZ3
s nNd7v.U6
z^/9YzA!6
gCL}Ba
3、 发射电流:0 ~ 1000mA(10KV时),稳定性±2%; U:
<
DbR!s1ux
UH(w, R`
RA+M.
4、 最大输出功率:10KW; gHXvmR"
BOdlz#&s
5、 灯丝电压:8V Hy'EbQ
j39"iAn
6、 电子溯流变化率:±3% 931GJA~g
]}&HvrOld
7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa @o<B>$tbu4
R$eEW"]
8、 XY位置移动: ±20mm
Cz&t*i/
F,mStw:
9、 XY扫描宽度: ±20mm k0b6X5
GJ?J6@|
10、X扫描频率:50Hz Y扫描频率:500Hz 'w/S6j
olHmRJ
此电子枪工作稳定,运行可靠,采用日本技术和进口元件,枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚,使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制,以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标,数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字,且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定,使蒸发面平整,不会出现“扎坑”现象。 X
VH(zJ
{?cF2K#
扫描光斑大小可以任意调整,形状为方型,可根据用户镀膜工艺要求,蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内,在镀膜时自动提取扫描方式,实现自动镀膜。有存储扫描方式15种, ME5M;bz(