电子枪主要技术指标: TB!z:n
p5 !B
GS!7HphR
n"p|tEK
1、 电子束偏转角:270°; ZS@ Gt
7RH1,k
@U~i<kt
IW Ro$Yu
2、 高压输出:-4KV ~ -10KV;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%; , [V#o-Z
9GH11B_A
tH7@oV;
j,HUk,e^&
3、 发射电流:0 ~ 1000mA(10KV时),稳定性±2%; O.ce"5Y^
C(RZ09,.S
@raw8w\Zj+
x4r=ENO)q
4、 最大输出功率:10KW; |oYqkP|
e@Cv')]B
5、 灯丝电压:8V _8-iO.T+2
R:Pw@
6、 电子溯流变化率:±3% Y?1
3_~
K
2HxT+|~d6
7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa |zJxR_)
}D/O cp~o
8、 XY位置移动: ±20mm \.@fAgv
;q8tOvQ
9、 XY扫描宽度: ±20mm G`a,(<kT;
FEd We\E
10、X扫描频率:50Hz Y扫描频率:500Hz Z#J
cNquM
Aqc
Cb[1r
此电子枪工作稳定,运行可靠,采用日本技术和进口元件,枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚,使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制,以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标,数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字,且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定,使蒸发面平整,不会出现“扎坑”现象。 GT -(r+u
Ezvm5~<
扫描光斑大小可以任意调整,形状为方型,可根据用户镀膜工艺要求,蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内,在镀膜时自动提取扫描方式,实现自动镀膜。有存储扫描方式15种, 'aq9]D_k