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    [求助]低温TI3O5  SIO2。RF辅助镀膜。膜强度差。什么原因造成？ [复制链接]

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    离线repent134
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-30
    成膜后破坏镀膜表层，用擦拭液擦拭膜层延展性比较大
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-03-30
    这个Ti3O5成膜温度一般不能太低吧，建议150℃以上，低温成膜牢固度与吸收均不够理想，如果想低温成膜，高折射率材料用Ta2O5可能更好一些 IFTNr2I  
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    flyinlove79 光币 +1 - 03-04
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    离线repent134
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    只看该作者 2楼 发表于: 2023-03-30
    主要SIO2打底层，掉膜也是掉到了基板
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    离线小时候_我很帅
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    只看该作者 3楼 发表于: 2023-03-30
    离子源&充氧&电子枪速率方面看下
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    离线嘤击长空
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-03-31
    建议测一下温度
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    离线石前林
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-03-31
    基片是否干净，扩散泵是否返油，第一层速率及离子源参数 0VNLhM(LM  
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    flyinlove79 光币 +1 - 03-04
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    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-04-08
    1，注意一下清洗，必要手擦几片做比较。 kZw"a*6  
    2，镀膜前用离子源清洗，用质量大的Ar，多打一阵子。 gs'M^|e)  
    3，基板如果是玻璃就加到150度以上， Pp_ 4B  
    如果是塑胶，用卤素灯加热（不要用加热丝） cdMSC7l!  
    aRMlE*yW  
    其他的上面的都讲过了，其实工艺参数很重要。  \(\a=  
    如果是塑胶片，加热很重要
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    flyinlove79 光币 +1 - 03-04
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    离线jimmy_
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    只看该作者 7楼 发表于: 02-19
    请教一下为什么加热不能用加热丝，光驰机里好像没有卤素灯
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    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 02-20
    回 jimmy_ 的帖子
    jimmy_:请教一下为什么加热不能用加热丝，光驰机里好像没有卤素灯 (2024-02-19 17:21)  gNZwD6GMe?  
    Dge#e  
    因为塑胶片导热不行。 .V;,6Vq  
    加热丝最初加热的是片子背面，热量靠传导再到镀膜面， e1Db +QBV  
    一个是升温慢，一个是均匀性差。 a OmG,+o  
    而卤素灯照射的是镀膜面，升温会比较快，而且温度的均匀度也好。 Al yJ!f"Y  
    加热快的，吸收的水气出来的也多
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    flyinlove79 光币 +1 - 03-04
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