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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 /xBb[44z8 Y(ykng 1.建模任务 s[>,X#7 y 6yG^p]zZ 8
/]S^'> DOE:扩散器 +HpA:]#Y 直径:1.4mm X 1.4mm 5{WE~8$ 相位等级:2 ^oz3F]4,g 像素尺寸:>1um QE+g
j8 `,(4]tlL
bSlF=jT[S 2.照明光束参数 %A/0 ' F~vuM$+d
?=msH=N<l ! I:%0D s]0{a.Cpv 波长:632.8nmm oSKXt}sh 激光光束直径(1/e2):700um _yx>TE2e ($MlX BI 3.期望输出场参数 oCv.Ln1;Z R%WCH?B<}
5V~oIL ;4\2.*s a5^]20Fa • 直径:1° Vm(y7}Aq{ • 分辨率:≤0.03° BwEN~2u6 • 效率:>70% u~:y\/Y6 • 杂散光:<20% FX&~\kmV'j &|1<v<I5 4.设计和优化方法 qA7>vi% :S83vE81WK • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 S3 %FHS • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 *;slV3 >2)OiQ`zg 5.配置方法 r+i($jMs wmL'F:UP qr^3R&z!} 你可以 :r,pqnH_ • 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 ua$GNm • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 ,-c6dS d"mkL- 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 9&2O9Nz6 ]cWUZ{puRB
gfd"v dL 1tl 6.设置输入光束参数 HZB>{O R?|.pq/Ln
kCF>nt@ /9*B)m" 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 AT3cc ~
'cmSiz-
7kLz[N6Ll kx{{_w 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 %@aSe2B 6I4\q.^qw 7.光学系统 iC32nY? =[{i{x|Qz
r'r%w#=`t N,AQsloL7 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 @f~RdO3 UgNu`$m+
[A~xy'T %D34/=(X 光学系统周围介质默认为空气。 S(lO(gY z+wA
rPxc 8.期望输出场设置 ]i)c{y ]=I@1B;_m
'~<m~UXvD# d#Y^>"|$. 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 OA1uY83" u;"TTN 9.参数确认过程中的提示 Lc,Pom KnQ*vM*VM
jl$ece5v RDi]2 &MQmu,4 • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 ?0?#U0(;u • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 M61xPq8y5 • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 Su7?;Oh/yI • 散斑大小由分辨率影响,但不能任意控制。 _$YkM, y/{fX(aV 10.警告 HY*Kb+[ u#$]?($}d n8
i] z C*_C;6.~Y 出现以下情况,会出现红色警告信息: y/cvQY0pU • 通告指定的光学系统,不能达到期望的分辨率。 kk@fL • 光学系统将创建离散点,而不是散斑图。 Gbr=+AT • 光学系统或指定分辨率并不能实现光图案所有的细节。 )e+>w=t Tod&&T'UW 单击Optimize Resolution按钮来帮忙调整系统参数。 4N_R:B-Vu HGs $* 11. 帮助改变参数 T{.pM4Hd DDP/DD;n}r
TH&U
j1 u(>^3PJ+ ]"hFC<w • 这个对话框会显示分辨率是否适合典型的扩散器设计。 2d #1=+V • 此处显示设置没有任何问题。 <I\/n<* • 另外,通过这个工具,VirtualLab Fusion提供了某些确定选项以对参数进行调整,从而达到一个最佳的激光光束直径和分辨比。 kR-SE5`Jk 5|j<`()H
: 12.DOE透过率函数参数 <4si/= fI}to&qk Ys!82M$g Eqd< |