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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 5v5)vv.kd *be"$Q 1.建模任务 mUA!GzJ~u- 4M*Z1 SFJ"(ey$ DOE:扩散器 y90wLU9f 直径:1.4mm X 1.4mm _59f.FsVR 相位等级:2 ANWfRtiU# 像素尺寸:>1um g|TWoRx: H Q :Y:
D| |)H 2.照明光束参数 N1iP!m9Q |tN:o=
6
D,\hRQ vB<9M-sa0 xB`j*
% 波长:632.8nmm }i._&x`): 激光光束直径(1/e2):700um &8\6%C &ea6YQ 3.期望输出场参数 o4U0kiI@ *[Im].
,J(shc_F ]$~\GE^ 0@yw#.j • 直径:1° w~4T.l#1 • 分辨率:≤0.03° #(7^V y& • 效率:>70% O!se-h5mW8 • 杂散光:<20%
Zz?)k])F ;oCSKY4 4.设计和优化方法 QpCTHpZ gz#2} • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 [nA1WFfM • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 1R,SA:L$ i&^]qL|J 5.配置方法 ?U+nR/H:6 ZiW&*nN?M
yXQ 28A 你可以 1>=%TIO) • 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 6L"b O'_5K • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 BD-
c<K" o-<XR9,N* 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 jr(|-!RVMN 4&AGVplgF
}Gva=N: -e O>d} 6.设置输入光束参数 $px1D$F ! cHC1l
Y0yu, {>UT'fa- 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 )>tT""yEl Ax6zx
s14D(:t( |?v .5|1 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 &PPYxg< b#-=Dbe 7.光学系统 r:M0#
2 JFdMYb
.P#t"oW} i0u`J 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 K5 EJ#1ov 5/R
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yU>ucuF q'9; 光学系统周围介质默认为空气。 H#M;TjR r 6&+pSA> 8.期望输出场设置 %%9T-+T H2'djZ
a4XK.[O >y+?Sz! 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 JkI|Ojmm/ nub!*)q 9.参数确认过程中的提示 ,#bT `YY07(%
qOAP_\@T 5&.I9}[)j XZ2 ji_D • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 ^B8[B&K • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 dXPTW;w • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 ^U);MH8 • 散斑大小由分辨率影响,但不能任意控制。 /]?e^akA vR
(nd 10.警告 y7,t"XV w4FYd dkW7k^g ..x2 出现以下情况,会出现红色警告信息: RBHU5]5 • 通告指定的光学系统,不能达到期望的分辨率。 kkJ8xyO • 光学系统将创建离散点,而不是散斑图。 :;;k+Sw3 • 光学系统或指定分辨率并不能实现光图案所有的细节。 A@;{#.O Ce~Pms] 单击Optimize Resolution按钮来帮忙调整系统参数。 lk[u 3sgo5D-rMI 11. 帮助改变参数 ~>Y^?l 2*V]jO
mz<X$2]? Md0`/F:+2 2V~uPZ • 这个对话框会显示分辨率是否适合典型的扩散器设计。 cG (%P$ • 此处显示设置没有任何问题。 RU~Pa+H • 另外,通过这个工具,VirtualLab Fusion提供了某些确定选项以对参数进行调整,从而达到一个最佳的激光光束直径和分辨比。 $KBW{ Z{gDEo) 12.DOE透过率函数参数 Esm=sPW );?tGX ^)o]hE| 7%&e4 |