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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 5KwT(R o  
    G^_fbrZjN  
    任务说明 kY`L[1G$  
    0]`%i G|  
    >^ M=/+<c  
    8hm|9  
    灵活地导出制造数据： zX ?@[OT  
    - 平滑的界面 ?DKwKt  
    - 量化界面 G,h=5y9_J  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 E=8$*YUW(g  
     +umVl  
    亮点 Cw&U*H  
     导出各种表面形状的制造数据 ma(E}s  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 R(N5K4J  
         {/SLDyf%Z  
    w&^_2<a2  
    一般界面的制造数据 ".T&nS[z  
    cAc>p-y%  
    G,JNUok  
    8^6dK  
    支持文件格式： @b"J FB|  
    - 纯文本 )%]`uj>*[  
    - ASCII码 Q{+N{/tF  
    - 点云 uO;_T/^u  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 8.4+4Vxh   
     'J"m`a8no  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） W4o$J4IX{  
    8\@&~&(y:  
    采样高度剖面的STL导出 \1b!I)T9  
    tgB\;nbB  
    ;33LuD<h.  
    "]0sR  
    量化界面的GDSII导出 x*2'I  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 U<H< !NV  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ]Sgc 42hk  
    ]S#m o  
    4` zfrT^  
     
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