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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 S~OhtHwK  
    A<MtKb  
    任务说明 1R%1h9I4'  
    Wd,a?31|  
    X@A1#z+s0]  
    r?$ ?;%|C  
    灵活地导出制造数据： umEVy*hc  
    - 平滑的界面 qdD)e$XW,  
    - 量化界面 }:Z9Vc ZP`  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 \3YO<E!t  
     T]9\VW4  
    亮点 i b6^x:HGU  
     导出各种表面形状的制造数据 ?\=/$Gt  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 u{H?4|'(  
         |AZW9  
    |UnUG  
    一般界面的制造数据 Q4]4@96Aj  
    u'~;Y.@i'  
    n$L51#'  
    E+95WF|4k"  
    支持文件格式： X@2-*so<  
    - 纯文本 V&{MQWy  
    - ASCII码 E>jh"|f:{  
    - 点云 32)tJ|m  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） = "ts`>  
     !RvRGRSyF  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） j{++6<tr  
    JH,/jR  
    采样高度剖面的STL导出 z`@^5_  
    <U Zd;e@  
    1`0#HSO  
    *~XA'Vw!  
    量化界面的GDSII导出 uzOYVN$t  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 tA.`k;LT  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 :*514N  
    ] ,etZ%z&  
    ~:4kU/]  
     
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