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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 yENAcsv  
    "zTy_0[;  
    任务说明 [P ;fv  
    }0@@_Y]CC  
    kX}sDvP3  
    i`];xNR'  
    灵活地导出制造数据： ~!7x45( 1#  
    - 平滑的界面 88[u^aC  
    - 量化界面 yIngenr$  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 3W#E$^G_v  
     nec}grA  
    亮点 #^9k&t#!6  
     导出各种表面形状的制造数据 EowzEGq!a5  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 :5T=y @  
         FU .%td=:  
    'X6Y!VDd  
    一般界面的制造数据 }opMf6`w  
    ?P>4H0@I+  
    2P@6Qe ?  
    RIO?rt;  
    支持文件格式： Mk973 'K'  
    - 纯文本 Ya!e8 3-r  
    - ASCII码 VQG$$McJ  
    - 点云 v+79#qWK|n  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） kdV9F  
     e00 }YWf%  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） CH| cK8q  
    I} +up,B]o  
    采样高度剖面的STL导出 ; 2V$`k  
    $ywROa]  
    '!?t+L%gO  
    5=<KA   
    量化界面的GDSII导出 V,'_BUl+x  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ^>Z7."uGY  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 A8ef=ljM?  
    3k(tv U+eC  
    AcXVfk z  
     
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