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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光学 IDGQIg  
    8 l'bRyuS  
    任务说明 P7'oXtW{o  
    z)58\rtz  
    VjA wn}eO  
    {[M0y*^64$  
    灵活地导出制造数据： SE,o7_k'S  
    - 平滑的界面 zz(!t eBC  
    - 量化界面 Sc;iAi (  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 )(:+q(m  
     *Fa )\.XX  
    亮点 L,Ao.?j  
     导出各种表面形状的制造数据 sorSyuGr  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 p3M#XC_H]  
          YBYBOH  
    bx hPjAL  
    一般界面的制造数据 5cyddlaat  
    g9yaNelDh)  
    0t#NMW  
    T[5gom  
    支持文件格式： ~t'#nV  
    - 纯文本 Zdv.PGn  
    - ASCII码  ${A5-  
    - 点云 Yw$a{5g  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） D+@-XU<Lp<  
     :V&N\>Wo  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） !Gln Q`T  
    OOEV-=  
    采样高度剖面的STL导出 Q0pC4WJ`  
    ES^>[2Y  
    E S#rs="  
    ZWf-X  
    量化界面的GDSII导出 [<]Y+33  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 DJm oW  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 38[)[{G)Hv  
    nkCecwzr-  
    ;EgzC^2e  
     
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