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    [技术]《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-10
    C==hox7b  
    内容简介 a.\:T,cP>  
    Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ?zMHP#i  
    《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 7aRi5  
    薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 O:R*rJ  
    ys^oG$lq  
    讯技科技股份有限公司
    2015年9月3日
    6Pnjmw.HV  
    目录 gs[uD5oo<  
    Preface 1 k"%~"9  
    内容简介 2 ~Ffo-Nd-  
    目录 i tS5hv@9cWx  
    1  引言 1 7nTeP(M%  
    2  光学薄膜基础 2 O6 3<AY@  
    2.1  一般规则 2 qr^3R&z!}  
    2.2  正交入射规则 3 :r,pqnH_  
    2.3  斜入射规则 6 ^/>(6>S^M  
    2.4  精确计算 7 f}ji?p  
    2.5  相干性 8 re?,Wext\  
    2.6 参考文献 10 =o(5_S.u;  
    3  Essential Macleod的快速预览 10 XEp{VC@=  
    4  Essential Macleod的特点 32 !Pvf;rNI1T  
    4.1  容量和局限性 33 0S_~\t  
    4.2  程序在哪里? 33 %XDc,AR[  
    4.3  数据文件 35 xrz,\eTb  
    4.4  设计规则 35 /SR*W5#s  
    4.5  材料数据库和资料库 37 dq6m>;`  
    4.5.1材料损失 38 $9#H04.x  
    4.5.1材料数据库和导入材料 39 2#]#sZmk  
    4.5.2 材料库 41 sf qL|8  
    4.5.3导出材料数据 43 6vo;!V6  
    4.6  常用单位 43 <z&/L/bl"  
    4.7  插值和外推法 46 t#})Awy^R  
    4.8  材料数据的平滑 50 ]@c+]{  
    4.9 更多光学常数模型 54 L|+~"'l  
    4.10  文档的一般编辑规则 55 33x{CY15  
    4.11 撤销和重做 56 jXx<`I+]  
    4.12  设计文档 57 4r#= *  
    4.10.1  公式 58 wE>\7a*P%  
    4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {X+3;&@  
    4.10.3  沉积密度 59 iRbT/cc{  
    4.10.4 平行和楔形介质 60 -UEZ#Q  
    4.10.5  渐变折射率和散射层 60 )p0^zv{  
    4.10.4  性能 61 G@\1E+Ip  
    4.10.5  保存设计和性能 64 }O5i/#.lR  
    4.10.6  默认设计 64 +F` S>U  
    4.11  图表 64 #aJ(m&  
    4.11.1  合并曲线图 67 faX#**r  
    4.11.2  自适应绘制 68 .Iw AK/QS  
    4.11.3  动态绘图 68 Ecefi pG  
    4.11.4  3D绘图 69 @Zu5VpJ  
    4.12  导入和导出 73 w~A{(- dx  
    4.12.1  剪贴板 73 YeL#jtC  
    4.12.2  不通过剪贴板导入 76 Dlae;5 D  
    4.12.3  不通过剪贴板导出 76 `Bp.RXsd*  
    4.13  背景 77 e7Z32P0ls  
    4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 e0zq1XcZ  
    4.15  生成Rugate 84 $E~`\o%Ev  
    4.16  参考文献 91 S(I{NL}= $  
    5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 }Yzco52  
    5.1  Jobs 92 I\{ 1u  
    5.2  创建一个新Job(工作) 93 Q5`*3h6p=  
    5.3  输入材料 94 ~{g [<Qi  
    5.4  设计数据文件夹 95 @7]yl&LZ  
    5.5  默认设计 95 5E;qM|Ns  
    6  细化和合成 97 c /HHy,  
    6.1  优化介绍 97 xb~yM%*c  
    6.2  细化 (Refinement) 98 EStB#V^  
    6.3  合成 (Synthesis) 100 ,X-bJA@(  
    6.4  目标和评价函数 101 O)*+="Rg  
    6.4.1  目标输入 102 9gDkTYkj  
    6.4.2  目标 103 2B[X,rL.pX  
    6.4.3  特殊的评价函数 104 ?m}s4a  
    6.5  层锁定和连接 104 xd?f2=dd~h  
    6.6  细化技术 104 dI(@ZV{  
    6.6.1  单纯形 105 L-WT]&n_  
    6.6.1.1 单纯形参数 106 OJuG~euy  
    6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 KNvZm;Q6  
    6.6.2.1 Optimac参数 108 Uw. `7b>B  
    6.6.3  模拟退火算法 109 L^2%1GfE{  
    6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]I dk:et  
    6.6.4  共轭梯度 111 {_[N<U:QT&  
    6.6.4.1 共轭梯度参数 111 iDp)FQ$  
    6.6.5  拟牛顿法 112 x7&B$.>3  
    6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 dO<ERY  
    6.6.6  针合成 113 %K lrSo  
    6.6.6.1 针合成参数 114 3 *"WG O5  
    6.6.7 差分进化 114 QvlObEhcS  
    6.6.8非局部细化 115 ghG**3xr  
    6.6.8.1非局部细化参数 115 rNWw?_H-H(  
    6.7  我应该使用哪种技术? 116 zm5]J  
    6.7.1  细化 116 .+3g*Dv{&  
    6.7.2  合成 117 1 ~Y<//5E  
    6.8  参考文献 117 {9&;Q|D z  
    7  导纳图及其他工具 118 x_N'TjS^{  
    7.1  简介 118 )9{0]u;9  
    7.2  薄膜作为导纳的变换 118 mZS >O_E  
    7.2.1  四分之一波长规则 119 Eex~xiiV  
    7.2.2  导纳图 120 %+W{iu[|  
    7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \O3m9,a   
    7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 [I,Z2G,Jb  
    7.5  斜入射导纳图 141 O>b C2;+s  
    7.6  对称周期 141 7hD>As7`/  
    7.7  参考文献 142 2 /\r)$ 2i  
    8  典型的镀膜实例 143 o4F2%0gJ  
    8.1  单层抗反射薄膜 145 pHXm>gTd,J  
    8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 |}s*E_/[  
    8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Ju!]&G8  
    8.4  W-膜层 148 oi&VgnSk  
    8.5  V-膜层 149 DZ'P@f)]  
    8.6  V-膜层高折射基底 150 '6iEMg&3  
    8.7  V-膜层高折射率基底b 151 #C74z$  
    8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Z*]9E^  
    8.9  四层抗反射薄膜 153 PB\(=  
    8.10  Reichert抗反射薄膜 154 Q0`wt.}V2  
    8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;40/yl3r3[  
    8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 D[[|")Fn  
    8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 H7&8\ FNa  
    8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 0y'H~(  
    8.15十五层宽带抗反射膜 159 \R9(x]nZ%  
    8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 Y1W1=Uc uk  
    8.17  1/4波长堆栈 162 .nf#c.DI  
    8.18  陷波滤波器 163 [[Ls_ZL!=  
    8.19 厚度调制陷波滤波器 164 G#q@v(_b  
    8.20  褶皱 165  L2[($l  
    8.21  消偏振分光器1 169 2+ N]PW\V  
    8.22  消偏振分光器2 171 b5dD/-Vj  
    8.23  消偏振立体分光器 172 hP%M?MKC  
    8.24  消偏振截止滤光片 173 r4b 6 c  
    8.25  立体偏振分束器1 174 O-0x8O^B  
    8.26  立方偏振分束器2 177 #_ ;lf1x!  
    8.27  相位延迟器 178 zlSNfgO  
    8.28  红外截止器 179 B?gOHG*vd>  
    8.29  21层长波带通滤波器 180 x*\Y)9Vgy  
    8.30  49层长波带通滤波器 181 k<nZ+! M  
    8.31  55层短波带通滤波器 182 ~|D Ut   
    8.32  47 红外截止器 183 wtLO!=B  
    8.33  宽带通滤波器 184 I3{PZhU.  
    8.34  诱导透射滤波器 186 Fh&G;aEq  
    8.35  诱导透射滤波器2 188 !7O+ogL  
    8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 R6<X%*&%  
    8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Z!a =dnwHz  
    8.35  增益平坦滤波器 193 7dTkp!'X-  
    8.38  啁啾反射镜 1 196 $ZhF h{DQ.  
    8.39  啁啾反射镜2 198 6m/r+?'  
    8.40  啁啾反射镜3 199 ;LKkbT 5  
    8.41  带保护层的铝膜层 200 V# }!-Xj  
    8.42  增加铝反射率膜 201 u OmtyX  
    8.43  参考文献 202 eH'av}  
    9  多层膜 204 z3{G9Np  
    9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 kr^P6}'  
    9.2  内部透过率 204 B-Ll{k^  
    9.3 内部透射率数据 205 .O5Z8 p  
    9.4  实例 206 *2>&"B09`  
    9.5  实例2 210 8rAg \H3E  
    9.6  圆锥和带宽计算 212 zJKv'>?  
    9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 8?B!2  
    10  光学薄膜的颜色 216 ihhDOmUto  
    10.1  导言 216 Hp|kQJ[LE  
    10.2  色彩 216 g>E LGG |Q  
    10.3  主波长和纯度 220 ^  glri$m  
    10.4  色相和纯度 221 5 Aw"B  
    10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 [t m_Mg  
    10.6 色差 226 6IN e@  
    10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 59 T 8r  
    10.8  颜色渲染指数 234 y;m|  
    10.9  色差计算 235 '|6]_   
    10.10  参考文献 236 <yV"6/l 0  
    11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 9d0@wq.  
    11.1  短脉冲 238 wyH[x!QX  
    11.2  群速度 239 IkL#SgY  
    11.3  群速度色散 241 *?@?f&E/  
    11.4  啁啾(chirped) 245 NR$3%0 nC6  
    11.5  光学薄膜—相变 245 *nT<m\C6  
    11.6  群延迟和延迟色散 246 p%up)]?0  
    11.7  色度色散 246 OR P\b  
    11.8  色散补偿 249 XW 2b|%T  
    11.9  空间光线偏移 256 o"s)eh  
    11.10  参考文献 258 Y,qI@n<  
    12  公差与误差 260 np|Sy;:  
    12.1  蒙特卡罗模型 260 ]? c B:}  
    12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ; }I:\P  
    12.2.1  误差工具 267 '&P%C" 5  
    12.2.2  灵敏度工具 271 ?.m bK  
    12.2.2.1 独立灵敏度 271 + )AG*  
    12.2.2.2 灵敏度分布 275 d(ZO6Nr Q  
    12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 7(1|xYCx$  
    12.3  参考文献 276 LRxZcxmy  
    13  Runsheet 与Simulator 277 udK%>  
    13.1  原理介绍 277 #H&|*lr  
    13.2  截止滤光片设计 277 4Co6(  
    14  光学常数提取 289 pHGYQ;:L  
    14.1  介绍 289 RT4x\&q  
    14.2  电介质薄膜 289 Uk[b|<U-`d  
    14.3  n 和k 的提取工具 295 SBu"3ym  
    14.4  基底的参数提取 302 Ve$o}h-  
    14.5  金属的参数提取 306 f#>,1,S  
    14.6  不正确的模型 306 (!u~CZ;  
    14.7  参考文献 311 l ~"^7H?4e  
    15  反演工程 313 5;Czu(iH$  
    15.1  随机性和系统性 313 .|KyNBn  
    15.2  常见的系统性问题 314 7DogM".}~Q  
    15.3  单层膜 314 @,j*wnR  
    15.4  多层膜 314 EmWn%eMN  
    15.5  含义 319 a@K%06A;'  
    15.6  反演工程实例 319 E:_ZA  
    15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Bpo4?nCl}  
    15.6.2 反演工程提取折射率 327 V;VHv=9`o  
    16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 98c(<  
    16.1  光学性质的热致偏移 329 ]"As1"  
    16.2  应力工具 335 [-1^-bb  
    16.3  均匀性误差 339 dmtr*pM_  
    16.3.1  圆锥工具 339 (*9$`!wS  
    16.3.2  波前问题 341 x M/+L:_<  
    16.4  参考文献 343 /|m2WxK)  
    17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 79rD7D&g  
    17.1  引言 345 s*KhF'fN  
    17.2  操作数 345 JAnZdfRt  
    18  如何在Function中编写脚本 351 :wyno#8`-  
    18.1  简介 351 #6aW9GO  
    18.2  什么是脚本? 351 23eX;gL  
    18.3  Function中脚本和操作数对比 351 |)DGkOtd  
    18.4  基础 352  #4NaL  
    18.4.1  Classes(类别) 352 !RS}NS  
    18.4.2  对象 352 bjW]bRw  
    18.4.3  信息(Messages) 352 St9?RD{4;  
    18.4.4  属性 352 ea2ayT  
    18.4.5  方法 353 u(.e8~s8  
    18.4.6  变量声明 353 mfn,Gjt3O  
    18.5  创建对象 354 ^$jb7HMObI  
    18.5.1  创建对象函数 355 \~mT] '5  
    18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 2DDtu[}  
    18.5.3 丢弃对象 356 @l5"nBs<_:  
    18.5.4  总结 356 OX0%C.K)hZ  
    18.6  脚本中的表格 357 vzAaxk%  
    18.6.1  方法1 357 E?f-wQF  
    18.6.2  方法2 357 q'F+OQb1  
    18.7 2D Plots in Scripts 358 DH!~ BB;  
    18.8 3D Plots in Scripts 359 rl;~pO5R9  
    18.9  注释 360 #$07:UJ  
    18.10  脚本管理器调用Scripts 360 3,3N^nSD  
    18.11  一个更高级的脚本 362 `UyG_;  
    18.12  <esc>键 364 `:KY\  
    18.13 包含文件 365 UYJZYP%r  
    18.14  脚本被优化调用 366 1<@W6@]  
    18.15  脚本中的对话框 368 ;?i W%:_,  
    18.15.1  介绍 368 oxA<VWUNT  
    18.15.2  消息框-MsgBox 368 '3fu  
    18.15.3  输入框函数 370 %JBz5G  
    18.15.4  自定义对话框 371 ;7V%#-  
    18.15.5  对话框编辑器 371 `5.'_3  
    18.15.6  控制对话框 377 _4So{~Gf1  
    18.15.7  更高级的对话框 380 I-*S&SiXjI  
    18.16 Types语句 384 %p=M;  
    18.17 打开文件 385 pofie$  
    18.18 Bags 387 n5NsmVW\x  
    18.13  进一步研究 388 E7UU  
    19  vStack 389 - %h.t+=U  
    19.1  vStack基本原理 389 j{A y\n(  
    19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 CYP q#rd  
    19.3  五棱镜 393 dn+KH+v  
    19.4 光束距离 396 _C?hHWSf"  
    19.5 误差 399 @o _}g !9=  
    19.6  二向分色棱镜 399 "?xHlYj@+  
    19.7  偏振泄漏 404 m}t`FsB.  
    19.8  波前误差—相位 405 osAd1<EIC  
    19.9  其它计算参数 405 G4X|Bka  
    20  报表生成器 406 nRS}}6Q  
    20.1  入门 406 Jhhb7uU+  
    20.2  指令(Instructions) 406 3yF,ak {Sl  
    20.3  页面布局指令 406 9}<ile7^  
    20.4  常见的参数图和三维图 407 & G4\2l9  
    20.5  表格中的常见参数 408 'Aq{UGN  
    20.6  迭代指令 408 pJ"qu,w  
    20.7  报表模版 408 ]72`};  
    20.8  开始设计一个报表模版 409 [EXs  
    21  一个新的project 413 Ckuh:bs  
    21.1  创建一个新Job 414 BLiF 5  
    21.2  默认设计 415 f+,qNvBY/  
    21.3  薄膜设计 416 EgCAsSx(  
    21.4  误差的灵敏度计算 420 <)c)%'v  
    21.5  显色指数计算 422 IK=a*}19L  
    21.6  电场分布 424 >W+%8e  
    后记 426 dOH &  
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    :>f )g  
     
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