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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 _]*>*XfF(  
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    $lu t[o74  
                                                              :#~j:C|  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 &l[$*<P5V  
                                                                 ~| 6[j<ziL  
    建模任务                                                         !&Pui{F  
    Zoc0!84<z  
     N{~Y J$!8  
    ,-e{(L  
    光栅元件   -[DOe?T  
    ^w06<m  
                                                             bNoW?8bZ  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: :$9tF >  
    • FMM/RCWA 5lT*hF  
    • Diffractive Lens Component u4|$bbig  
                                                                 g SAt@2*U2  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       iRi-cQVy  
    +XYE{E5  
                                                         ?8Cq{  
    x~j`@k,;  
    正弦光栅-传输相位形态     Gm.]sE?.  
    XNu^`Ha  
                                                         MO <3"@/,  
    q=qcm`ce  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         nL.<[]r  
    ?#YE`]  
     Oh\<VvZuN  
    VgC2+APg  
    正弦光栅-衍射效率 y {<9]'  
    a"g!e^  
                                                                 e2W".+B1  
    HuKc9U'7A  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       gH3vk $WS  
    Wh 2tNyS  
           "4,?uPi  
    }t1a* z  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   1,!(0 5H  
                                           -n<pPau2  
    Jl9k``r*  
                                                                 :7?FF'u  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 1"M]3Kl  
    -701j'q{  
                                                               PO 7Lf#9]  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         }HePZ{PLM  
    c+nq] xOs'  
     3 +fp2  
     "?I y(*^  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         dIBE!4 V[  
    w+E,INd i  
     @qlK6tE`  
                                                                 -JjM y X  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         q,eVjtF  
    zXxT%ZcCj  
     B[-v[K2  
                                                                 :| 8M`18lZ  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         J 9iy  
    K_ ~"}  
     k<{{*  
                                                                 KOuCHqCfq  
    VirtualLab Fusion技术   Z//+Gw<'  
    P8)=Kbd  
                   I4q9|'-yx  
     
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