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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 0hS&4nW  
    5zS%F: 3  
    ~criZI/  
                                                             O!Ue0\1Kj0  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 q~qz^E\T  
                                                                 uz8eS'8  
    建模任务                                                         t_/qd9Jv  
    S%RxYJ(  
     a Mqt2{f+  
    L' y0$  
    光栅元件   c:${qY:!  
    W@}@5,}f>  
                                                             QmBHD;Gf  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: -IIrrY O  
    • FMM/RCWA 3g7]$}  
    • Diffractive Lens Component {Lju7'5L  
                                                                 P#pb48^-  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       5]{rim  
    &Zz&VwWR  
                                                         |(~IfSE2  
    7:~3B-Tb  
    正弦光栅-传输相位形态     `y'%dY}$n  
    _~Lu%   
                                                         ,$]m1|t@z  
    ;$eY#ypx  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         6X ]I`e  
    e ,XT(KY  
     ~U<j_j)z4.  
    Fmn_fW6  
    正弦光栅-衍射效率 UHJro9  
    , wk}[MF  
                                                                 SP0ueAa}  
    6@Q; LV+  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Ps! \k%FUl  
    j\#)'>"  
           .==c~>N  
    E=.J*7  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   E:}s 6l  
                                           JNU9RxR  
    /p-k'387  
                                                                 aV f sF|,  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Z){fie4WM  
    BDp(&=ktq  
                                                               NX8w(~r,:  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !rx5i  
    RCkmxO;b&  
    yFo8 x[  
      w&U28"i>  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         s]vsD77&  
    V\Lh(zPt  
     jcePSps]  
                                                                 o/U}G,|G  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ][f0ZMa  
    9aID&b +  
     p E1uD4lLb  
                                                                 8pmWw?  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         2Z(?pJyDM  
    MNfc1I_#  
     tjZS:@3 Z  
                                                                 G$`hPNSh  
    VirtualLab Fusion技术   2%l(qf N9  
    zll?/|%  
                   *eAt'  
     
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