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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-02
    摘要 ia_Z\q  
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                                                             UKOFT6|  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 K]ca4Z  
                                                                 M5F(<,n;  
    建模任务                                                         ,%[LwmET  
    ) b/n)%6  
     mF}c-  D  
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    光栅元件   6NzBpur 2H  
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                                                             3IGCl w(  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: '7t|I6$ow  
    • FMM/RCWA "havi,m  
    • Diffractive Lens Component O@nqHZ  
                                                                 phr2X*Z/)Y  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       {>wI8  
    5dqQws-,?1  
                                                         ;i.I&*t  
    xrfPZBLy  
    正弦光栅-传输相位形态     sZ]'DH&_(  
    c6t2Q6zV  
                                                         '!Hhd![\=|  
    7AI3|Ts]p  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ``+c`F?5  
    \{[D|_   
     %)8d{1at  
    m dC`W&r  
    正弦光栅-衍射效率 sS-W~u|C  
    =Na/3\^WP  
                                                                 CdDH1[J  
    kNRyOUy  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       HmhUc,EC  
    c/b%T  
           5.O-(eSa0&  
    mPckf  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   XIqv {w  
                                           tB GkRd!  
    Yr5iZ~V$  
                                                                 SrdE>fNbs  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) a ZI>x^X  
    Y_$^:LG  
                                                               ^OsA+Ea\  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         +Y^-e.UO  
    \P*PjG?R  
    P\,F1N_?r  
     CFD*g\g<*  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         iP2U]d~M  
    |VTWw<{LX  
     >BJ2v=R A  
                                                                 M_qP!+Y  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         =]!8:I?C<  
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                                                                 o~Bk0V=  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ]&&I|K_  
    8dr0 DF$c  
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                                                                 R"m.&%n  
    VirtualLab Fusion技术   yonJd  
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