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    [讨论]关于高速超精密激光干涉仪 [复制链接]

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    离线gangzi0801
    技术专家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-17
    关键词： 激光干涉仪
    哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉仪，目前可用于350nm到28nm工艺的光刻机样机集成研制和性能测试，意味着我们离光刻机又近了一步。 ^m\o(R  
    PgBEe @.  
    大家一起来交流一下，关于高速超精密激光干涉仪的知识和技术吧。
     
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