[讨论]关于高速超精密激光干涉仪 [复制链接]

哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉仪，目前可用于350nm到28nm工艺的光刻机样机集成研制和性能测试，意味着我们离光刻机又近了一步。 9ZwhCsO  
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大家一起来交流一下，关于高速超精密激光干涉仪的知识和技术吧。