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Dlvz) 内容简介 zO6oT1I Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]/L0,^RI 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 6'f;-2 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 j3Y['xDv K}Qa~_ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 `ERz\`d~Y; 目录 ]Y&VT7+Z Preface 1 9->if/r,o 内容简介 2 eHUOU>&P] 目录 i 9pfIzs
su3 1 引言 1 BI@[\aRLQ 2 光学薄膜基础 2 w7L)'9 2.1 一般规则 2 $XH^~i; 2.2 正交入射规则 3 h<QY5=SF 2.3 斜入射规则 6 xAm6BB
c 2.4 精确计算 7 Q3?F(ER@ 2.5 相干性 8 Nh+ H 9 2.6 参考文献 10 #RLt^$!H 3 Essential Macleod的快速预览 10 X:{!n({r= 4 Essential Macleod的特点 32 f$QNg0v 4.1 容量和局限性 33 _+MJ%'>S 4.2 程序在哪里? 33 \ Cj7k^ 4.3 数据文件 35 Ow,b^| 4.4 设计规则 35 \9EjClfo 4.5 材料数据库和资料库 37 >H,*H;6 4.5.1材料损失 38 GQ
;;bcj& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 K3uRs{l| 4.5.2 材料库 41 COlaD"Y 4.5.3导出材料数据 43 l'E6CL}@[ 4.6 常用单位 43 "0TZTa1e 4.7 插值和外推法 46 BMf@M 4.8 材料数据的平滑 50 K*d Cc}:` 4.9 更多光学常数模型 54 G3v5KmT 4.10 文档的一般编辑规则 55 X@FN|Rdh 4.11 撤销和重做 56 Ax}JLPz5' 4.12 设计文档 57 \fe]c : 4.10.1 公式 58 Flb&B1 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 aw> #P 4.10.3 沉积密度 59 /Z4et'Lo 4.10.4 平行和楔形介质 60 3Zh)]^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ;dhQN}7 4.10.4 性能 61 L}NSR 4.10.5 保存设计和性能 64 Etm?' 4.10.6 默认设计 64 7 X4LJf 4.11 图表 64 ddR>7d}N 4.11.1 合并曲线图 67 =Fl^`*n 4.11.2 自适应绘制 68 4B][S'f 4.11.3 动态绘图 68 wz8yD8M 4.11.4 3D绘图 69 FVBYo%Ap 4.12 导入和导出 73 Oow2>F%_# 4.12.1 剪贴板 73 / XIhj 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 SgOheN- 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =tY T8Q;al 4.13 背景 77 QmIBaMI# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 3;Fhg!ZO 4.15 生成Rugate 84 ~Cjn7 4.16 参考文献 91 teVM*- 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 #$y?v%^ 5.1 Jobs 92 rrv%~giU 5.2 创建一个新Job(工作) 93 <9
;!3xG 5.3 输入材料 94 HpnWoDM 5.4 设计数据文件夹 95 Xha..r 5.5 默认设计 95 vr^qWn 6 细化和合成 97 LreP4dRe 6.1 优化介绍 97 v.5+7,4 6.2 细化 (Refinement) 98 `9.r`&T6K 6.3 合成 (Synthesis) 100 PFK
'$ 6.4 目标和评价函数 101 ;bhT@aB1 6.4.1 目标输入 102 W@!S%Y9 6.4.2 目标 103 GuL<Z1<c 6.4.3 特殊的评价函数 104 #3d(M 6.5 层锁定和连接 104 3f;>" P} 6.6 细化技术 104 {]|J5Dgfe 6.6.1 单纯形 105 \uMLY<]P 6.6.1.1 单纯形参数 106 VLN_w$iEq 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 _<2E"PrT 6.6.2.1 Optimac参数 108 t&DEb_"De 6.6.3 模拟退火算法 109 wec)Ctj+ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 KY]C6kh 6.6.4 共轭梯度 111 iG?[<1~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 sn>~O4" 6.6.5 拟牛顿法 112 Mb7I[5v 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Y[S1$(K&* 6.6.6 针合成 113 ^zgo#J5O 6.6.6.1 针合成参数 114 xn|(9#1o 6.6.7 差分进化 114 L&OwPd 6.6.8非局部细化 115 \5cpFj5% 6.6.8.1非局部细化参数 115 yR.Ong 6.7 我应该使用哪种技术? 116 jlg(drTo 6.7.1 细化 116 (_{yB[z>` 6.7.2 合成 117 4nz 35BLr 6.8 参考文献 117 uSBaDYg 7 导纳图及其他工具 118 &G$Ucc
` 7.1 简介 118 ;ovP$ vl> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 /5AJ.r 7.2.1 四分之一波长规则 119 s(roJbJ_; 7.2.2 导纳图 120 t );/'3| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 .XhrCiZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 O<W_fx8_' 7.5 斜入射导纳图 141 G9@0@2aY8 7.6 对称周期 141 w)jISu;RG 7.7 参考文献 142 8sK9G`
k 8 典型的镀膜实例 143 {cw /!B 8.1 单层抗反射薄膜 145 EAby?51+ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 EDs\,f} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ]]j;/TiG 8.4 W-膜层 148 ?@
$r 8.5 V-膜层 149 8SS|a 8.6 V-膜层高折射基底 150 ##4HYQ%E 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !FF U=f 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 7i1q wRv 8.9 四层抗反射薄膜 153 fa2kG&, _ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 9k[9P;"F: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !_Z&a 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5.J.RE"M 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 vEz"xz1j!] 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 2T[9f;jM' 8.15十五层宽带抗反射膜 159 R,=fv 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 yJe>JK~) 8.17 1/4波长堆栈 162 dN[\xVcj 8.18 陷波滤波器 163 >~+ELVB& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 % +\."eC 8.20 褶皱 165 Yk Qd
8.21 消偏振分光器1 169 -1ub^feJ, 8.22 消偏振分光器2 171 57'4ljvYi 8.23 消偏振立体分光器 172 QoH6 8.24 消偏振截止滤光片 173 !m?-!: 8.25 立体偏振分束器1 174 G'aDb/ 8.26 立方偏振分束器2 177 1D!<'`)AY 8.27 相位延迟器 178 ^\,E&=/}M 8.28 红外截止器 179 2Q:+_v 8.29 21层长波带通滤波器 180 -!]ZMi9 8.30 49层长波带通滤波器 181 l0i^uMS 8.31 55层短波带通滤波器 182 I4?5K@a 8.32 47 红外截止器 183 F`]2O:[ 8.33 宽带通滤波器 184 `&6dnSC},P 8.34 诱导透射滤波器 186 .y:U&Rw4 8.35 诱导透射滤波器2 188 jdJ>9O0A, 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 T:W4$P 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 x;<W&s}( 8.35 增益平坦滤波器 193 Q#[9|A9 8.38 啁啾反射镜 1 196 CF5`-wj/# 8.39 啁啾反射镜2 198 6<(.4a? 8.40 啁啾反射镜3 199 :tv,]05t 8.41 带保护层的铝膜层 200 FH+s s! 8.42 增加铝反射率膜 201 zjoq6 8.43 参考文献 202 \=0Vi6!Mc 9 多层膜 204 WX6&oy> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 /%A*aGyIc 9.2 内部透过率 204 UN<]N76! 9.3 内部透射率数据 205 -_eLf#3 9.4 实例 206 k7usMVAA 9.5 实例2 210 W-zP/]Dh 9.6 圆锥和带宽计算 212 f^XOUh 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 iTU5l5U z 10 光学薄膜的颜色 216 x5 *!Wx
10.1 导言 216 e.V:)7Uc 10.2 色彩 216 q.`NtsW!\+ 10.3 主波长和纯度 220 l"]}Ts# 10.4 色相和纯度 221 vn"{I&L+w0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 )U{Qj5W+F 10.6 色差 226 RQu(Wu|m. 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 oIj#>1~c% 10.8 颜色渲染指数 234 =
6\ ^% 10.9 色差计算 235 M?uC%x+S$_ 10.10 参考文献 236 "vE4E| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ]yPqLJ 11.1 短脉冲 238 H\tUpan6fy 11.2 群速度 239 (n9gkO&8" 11.3 群速度色散 241 55c|O 11.4 啁啾(chirped) 245 ]1pIj
i[ 11.5 光学薄膜—相变 245 `XEr(e9 11.6 群延迟和延迟色散 246 >>fH{/l 11.7 色度色散 246 agW@{c 11.8 色散补偿 249 s>n)B^64W 11.9 空间光线偏移 256 ?zHPJLv|Y 11.10 参考文献 258 ~|xA4u5LG 12 公差与误差 260 ut/=R !(K 12.1 蒙特卡罗模型 260 k-OPU, 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 .$) 12.2.1 误差工具 267 a ]tVd# 12.2.2 灵敏度工具 271 !9P';p}2 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ^V Zk+'4 12.2.2.2 灵敏度分布 275 HYSIN^<oy 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 %m$Sp47 12.3 参考文献 276 gi
_ 5?$ 13 Runsheet 与Simulator 277 |T)6yDL 13.1 原理介绍 277 2Gaa(rJ5o 13.2 截止滤光片设计 277 h6`6tk 14 光学常数提取 289 pYZ6e_j1~ 14.1 介绍 289 gz#i.- 14.2 电介质薄膜 289 D#JL!A%O 14.3 n 和k 的提取工具 295 h/hmlnOQl 14.4 基底的参数提取 302 d;9FB[MmOJ 14.5 金属的参数提取 306 ~d*(=G 14.6 不正确的模型 306 !.(P~j][ 14.7 参考文献 311 K':;%~I 15 反演工程 313 cI?8RF(; 15.1 随机性和系统性 313 3Xy-r=N. l 15.2 常见的系统性问题 314 &/]Fc{]^$f 15.3 单层膜 314 G@jZ)2
15.4 多层膜 314 .qZ~_xk d 15.5 含义 319 H{?vbqQ 15.6 反演工程实例 319 xx9 g''Q 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _k~KZ;l 15.6.2 反演工程提取折射率 327 rJbf_]^ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^mO~W!" 16.1 光学性质的热致偏移 329 e)#J1(j_ 16.2 应力工具 335 0rG^,(3m 16.3 均匀性误差 339 x$Oq0d{T 16.3.1 圆锥工具 339 %
*INT 16.3.2 波前问题 341 jeH~<t{ 16.4 参考文献 343 mtmjZP(w 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 T@&K-UQ 17.1 引言 345 ll.N^y;a 17.2 操作数 345 kN4{13Qs* 18 如何在Function中编写脚本 351 T1Z;r*} 18.1 简介 351 Df<xWd2 18.2 什么是脚本? 351 |\IN.W[EL 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 *>2W#D)b= 18.4 基础 352
sAS:-wp 18.4.1 Classes(类别) 352 27O|).yKX 18.4.2 对象 352 ^^as'Dk 18.4.3 信息(Messages) 352 MWpQ^dL_ 18.4.4 属性 352 >A"v ed8 18.4.5 方法 353 bITPQ7+ 18.4.6 变量声明 353 >\=3:gb: 18.5 创建对象 354 ?+W9az]+ 18.5.1 创建对象函数 355 QoIT*! 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 yvHA7eq*" 18.5.3 丢弃对象 356 92x(u%~E 18.5.4 总结 356 D rHVG 18.6 脚本中的表格 357 X"e5Y!:M- 18.6.1 方法1 357 iwp{%FF 18.6.2 方法2 357 '~[d=fwH 18.7 2D Plots in Scripts 358 !1DKLQ 18.8 3D Plots in Scripts 359 nv%rJy*w[ 18.9 注释 360 C=)A6
;=se 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 e .2ib?8 18.11 一个更高级的脚本 362 -vR5BMy= 18.12 <esc>键 364 >
BY&,4r 18.13 包含文件 365 b8"?VS5-" 18.14 脚本被优化调用 366 TKY*`?ct 18.15 脚本中的对话框 368 {/(D$"j(S 18.15.1 介绍 368 (ehK?6[ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 NS%xTLow- 18.15.3 输入框函数 370 G{ sOR 18.15.4 自定义对话框 371 ~yfNxH~k 18.15.5 对话框编辑器 371 UU mTOJr 18.15.6 控制对话框 377 Nj
xoTLI 18.15.7 更高级的对话框 380 -tHU6s, 18.16 Types语句 384 4c$ zKqz 18.17 打开文件 385 PQnF 18.18 Bags 387 ,)Ju [ 18.13 进一步研究 388 E.ly#2? 19 vStack 389 g -HN 19.1 vStack基本原理 389 , 5kKimTt 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 -o[x2u~n\ 19.3 五棱镜 393 s(%oTKjt 19.4 光束距离 396 ;8*`{F[ 19.5 误差 399 ?NR A:t(} 19.6 二向分色棱镜 399 l@ H 19.7 偏振泄漏 404 pP?MWe
Eg 19.8 波前误差—相位 405 cU@SIJ) 19.9 其它计算参数 405 ujaGNg?, 20 报表生成器 406 LuSLkLN 20.1 入门 406 UXugRk%d 20.2 指令(Instructions) 406 7X q,z 20.3 页面布局指令 406 Z!@~>i 20.4 常见的参数图和三维图 407 V\6[}J 20.5 表格中的常见参数 408 <2|O:G 20.6 迭代指令 408 )XakJU^o 20.7 报表模版 408 WZ7BoDa7O 20.8 开始设计一个报表模版 409 ,TPISs 21 一个新的project 413 W?aI|U1 21.1 创建一个新Job 414 pUq1|)g 21.2 默认设计 415 ,M6Sy]Aj 21.3 薄膜设计 416 %K`% *D 21.4 误差的灵敏度计算 420 LbG_ z =A 21.5 显色指数计算 422 Q/I!}C4 21.6 电场分布 424 ? glSC$b 后记 426 #iWSDy 有兴趣扫码加微联系 6morum
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