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&RbT& 内容简介 pSh$#]mZ` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 to"[r 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 n,.t~ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 \r7gubD }}MZgm~U) 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ga+Z6|t 目录 T^XU5qgN Preface 1 )'Yoii{dSU 内容简介 2 ;gmfWHB< 目录 i >
g=u Y{Rf 1 引言 1 !-Br? 2 光学薄膜基础 2 ]`GDZw` 2.1 一般规则 2 t?404 2.2 正交入射规则 3 U)y~{E~c34 2.3 斜入射规则 6 #RWH k 2.4 精确计算 7 _rjLCvv- 2.5 相干性 8 `UH 1B/ 2.6 参考文献 10 g1zX^^nd,V 3 Essential Macleod的快速预览 10 Eh*t;J=O 4 Essential Macleod的特点 32 iz pFl@WS 4.1 容量和局限性 33 96.Vm*/7 4.2 程序在哪里? 33 z3>oUq{ 4.3 数据文件 35 HG)c\b 4.4 设计规则 35 Pu7cL 4.5 材料数据库和资料库 37 h`HdM58CQ 4.5.1材料损失 38 Y\1XKAfB 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Vuu_Sd 4.5.2 材料库 41 p&4#9I5 4.5.3导出材料数据 43 vhaUV#V" 4.6 常用单位 43 [H8QxJk 4.7 插值和外推法 46
a{%]X('; 4.8 材料数据的平滑 50 oHI/tS4
_ 4.9 更多光学常数模型 54 sB>ZN3ptH^ 4.10 文档的一般编辑规则 55 J4;Fk 4.11 撤销和重做 56 *)H&n>"e 4.12 设计文档 57 8NS1* \z 4.10.1 公式 58 %/(>>*}Kw| 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 GY;q0oQ, 4.10.3 沉积密度 59 KB^i=+xr 4.10.4 平行和楔形介质 60 |L"!^Y#=D 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 K9+C3"*I 4.10.4 性能 61 ;\gsd'i 4.10.5 保存设计和性能 64 oI6o$C 4.10.6 默认设计 64 Md4JaFA( 4.11 图表 64 OK"B`* 4.11.1 合并曲线图 67 rJ UXA<:2 4.11.2 自适应绘制 68 Q]]5\C. 4.11.3 动态绘图 68 K@PQLL#yJp 4.11.4 3D绘图 69 rtM!|apr 4.12 导入和导出 73 d|8iD`sZz 4.12.1 剪贴板 73 /2\%X`]< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >IzUn: 0F 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 vHz]-Q-|9 4.13 背景 77 aj:B+}1 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 C*I~14 4.15 生成Rugate 84 F]SA1ry 4.16 参考文献 91 O7AW9*< 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 s
s*% 3<
5.1 Jobs 92 *NDM{WB|) 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ?]#U~M<' 5.3 输入材料 94 ~<, QxFG5 5.4 设计数据文件夹 95 D/&^Y'|T 5.5 默认设计 95 ]O\Oj6C 6 细化和合成 97 3+EAMn 6.1 优化介绍 97 5z>kz/uxW 6.2 细化 (Refinement) 98 KiJR q> 6.3 合成 (Synthesis) 100 CK+GD "Z$ 6.4 目标和评价函数 101 0`
{6~p 6.4.1 目标输入 102 @!:~gQ 6.4.2 目标 103 7.o:(P1??g 6.4.3 特殊的评价函数 104 V~uH)IMkh7 6.5 层锁定和连接 104 domaD"C 6.6 细化技术 104 PmGW\E[ni 6.6.1 单纯形 105 %;E/{gO 6.6.1.1 单纯形参数 106 '>] 9efJA 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 . .|>|X4 6.6.2.1 Optimac参数 108 <?UIux 6.6.3 模拟退火算法 109 @ KhDQ0v]5 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Eo$7W5hJ 6.6.4 共轭梯度 111 hK,e<?N^ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 f(h nomn 6.6.5 拟牛顿法 112 9;^ r 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 4Em mh=A 6.6.6 针合成 113 y0d a8sd) 6.6.6.1 针合成参数 114 E-\<,=bh 6.6.7 差分进化 114 5UQz6DK 6.6.8非局部细化 115 k(oHmw 6.6.8.1非局部细化参数 115 `;ofQz4 6.7 我应该使用哪种技术? 116 q}PeXXH 6.7.1 细化 116 GIt~"X 6.7.2 合成 117 N;9m&)@JR' 6.8 参考文献 117 @,<@y>m7 7 导纳图及其他工具 118 L*Mt/ 7.1 简介 118 XA~Cc<v 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 4E`y*Hmzy+ 7.2.1 四分之一波长规则 119 2Qqk?;^1 7.2.2 导纳图 120 J2$L[d^ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 QQso<.d& 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 "eq{_4dL 7.5 斜入射导纳图 141 B>3joe} 7.6 对称周期 141 tSVN}~1\ 7.7 参考文献 142 eC^UL5>% 8 典型的镀膜实例 143 37hs/=x 8.1 单层抗反射薄膜 145 oh
k.; 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 IcM99'P( 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 |0A"3w 8.4 W-膜层 148 v`"z
8.5 V-膜层 149 Q`"gKBN1 8.6 V-膜层高折射基底 150 HJVi:;o
8.7 V-膜层高折射率基底b 151 )uvs%hK 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 =/Ob
kVYf 8.9 四层抗反射薄膜 153 4!pMZ<$3 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 uES|jU{]b 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 U{vt9t 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 0j^QY6 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 8E:8iNbF 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Zl69d4vG 8.15十五层宽带抗反射膜 159 I%]~]a 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 CbmT aEaP 8.17 1/4波长堆栈 162 ~C1lbn b 8.18 陷波滤波器 163 *C81DQ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Y40`~ 8.20 褶皱 165 =.=4P~T& 8.21 消偏振分光器1 169 "@1e0`n
Q 8.22 消偏振分光器2 171 d
NQ?8P-& 8.23 消偏振立体分光器 172 UEZnd8 8.24 消偏振截止滤光片 173 cFcn61x- 8.25 立体偏振分束器1 174 G%{J.J41F 8.26 立方偏振分束器2 177 p^|IN'lx, 8.27 相位延迟器 178 L|hdV\
8.28 红外截止器 179 h0}=C_.^ 8.29 21层长波带通滤波器 180 Zj@k3y 8.30 49层长波带通滤波器 181 |JZ3aS 8.31 55层短波带通滤波器 182 uhi(Gny. 8.32 47 红外截止器 183 !^{0vFWE 8.33 宽带通滤波器 184 :6k8\{^9"D 8.34 诱导透射滤波器 186 EwvW: t1 8.35 诱导透射滤波器2 188 \qx$h!< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3/rEXKS 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 @>Y.s6a 8.35 增益平坦滤波器 193 !c}?u_Z/ 8.38 啁啾反射镜 1 196 4e6x1`Y{xB 8.39 啁啾反射镜2 198 E8_j?X1 8.40 啁啾反射镜3 199 :fo.9J 8.41 带保护层的铝膜层 200 CH!>RRF 8.42 增加铝反射率膜 201 ch|4"&g 8.43 参考文献 202 nQe^Bn 9 多层膜 204 Gk<M@d^hQ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 :@BAiKa[wa 9.2 内部透过率 204 bXVH7F y 9.3 内部透射率数据 205 =L,s6J8_' 9.4 实例 206 pKeK6K\8 9.5 实例2 210 }HO3D.HE^ 9.6 圆锥和带宽计算 212 V}?*kx~T2C 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 asDk@Gcu 10 光学薄膜的颜色 216 J7Z`wjX1 10.1 导言 216 Q"o* \I 10.2 色彩 216 <>=A6 10.3 主波长和纯度 220 Z~&$s 10.4 色相和纯度 221 0;Lt 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ZDMv8BP7 10.6 色差 226 =ttvC"4? 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 _ELuQ>zM]+ 10.8 颜色渲染指数 234 iLQFce7d|& 10.9 色差计算 235 DGR[2C)@N 10.10 参考文献 236 xEW>7}+\ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #%Z 0! 11.1 短脉冲 238 .[%^~q7 11.2 群速度 239 =t[hs l 11.3 群速度色散 241 Gi=sJV 11.4 啁啾(chirped) 245 T;7=05k<_ 11.5 光学薄膜—相变 245 DC9\Sp? 11.6 群延迟和延迟色散 246 |p4D!M+$7 11.7 色度色散 246 z|KQiLza 11.8 色散补偿 249 yf >
rG 11.9 空间光线偏移 256 (d9G` 11.10 参考文献 258 EC`!&Yp+ 12 公差与误差 260 \nfjz\"R?b 12.1 蒙特卡罗模型 260 ivgV5)". 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 CcGE4BB 12.2.1 误差工具 267 HuVx^y`
@ 12.2.2 灵敏度工具 271
8 IeE7 12.2.2.1 独立灵敏度 271 tu4-##{ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ox | ? 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 T^z 12.3 参考文献 276 Sw1z^` 13 Runsheet 与Simulator 277 !?AgAsSmc 13.1 原理介绍 277 _*K=Z,a;\ 13.2 截止滤光片设计 277 fGZZ['E 14 光学常数提取 289 %-lilo 14.1 介绍 289 /$z(BX/ 14.2 电介质薄膜 289 =nVEdRU 14.3 n 和k 的提取工具 295 D)O2=aQ;] 14.4 基底的参数提取 302 sJI"
m'r=Z 14.5 金属的参数提取 306 Z.^DJ9E<1 14.6 不正确的模型 306 $Ph
T : 14.7 参考文献 311 _Wb3,E a= 15 反演工程 313 x=S8UKUx 15.1 随机性和系统性 313 +'-i (]@!' 15.2 常见的系统性问题 314 TnuaP'xZ 15.3 单层膜 314 i1c
z+} 15.4 多层膜 314 D+nKQ4 15.5 含义 319 4](jV}Hg 15.6 反演工程实例 319 j3-^,r
t4 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 /v <FH} 15.6.2 反演工程提取折射率 327 /8cfdP Ba 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 (BT{\|,V_m 16.1 光学性质的热致偏移 329 %@,%A_So k 16.2 应力工具 335 qsA`\%]H 16.3 均匀性误差 339 _?}[7K!~d 16.3.1 圆锥工具 339 zfsGf'U 16.3.2 波前问题 341 ydZS^BqG 16.4 参考文献 343
~ERA 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 {uCXF~v 17.1 引言 345 &.v|yG]& 17.2 操作数 345 U} K]W>Z 18 如何在Function中编写脚本 351 r(ZMZ^ 18.1 简介 351 lH%%iYBM 18.2 什么是脚本? 351 w/1Os!p 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 6_=t~9sY 18.4 基础 352 1B0+dxN` 18.4.1 Classes(类别) 352 -:V0pb 18.4.2 对象 352 )yTBtYw3 18.4.3 信息(Messages) 352 .:~{+
<*` 18.4.4 属性 352 m=4hi(g 18.4.5 方法 353 LykB2]T 18.4.6 变量声明 353 Ya*<me>`
18.5 创建对象 354 |34M.YjA 18.5.1 创建对象函数 355 7l+:gD 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Pb]EpyAW 18.5.3 丢弃对象 356 nOm-Yb+F 18.5.4 总结 356 h,fC-+H5 18.6 脚本中的表格 357 3oQ?VP 18.6.1 方法1 357 _O$7*k 18.6.2 方法2 357 Hob n{E 18.7 2D Plots in Scripts 358 d69synEw>k 18.8 3D Plots in Scripts 359 Zl\$9Q_ 18.9 注释 360 ?*/1J~<(@ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 j /)A<j$ 18.11 一个更高级的脚本 362 }8LTYn 18.12 <esc>键 364 P+Q}bTb8 18.13 包含文件 365 U)JwoO 18.14 脚本被优化调用 366
PKg>|]Rf. 18.15 脚本中的对话框 368
/D>G4PP< 18.15.1 介绍 368 '89nyx&W 18.15.2 消息框-MsgBox 368 V |hr 9 18.15.3 输入框函数 370 S\S31pYT 18.15.4 自定义对话框 371 =M ."^X 18.15.5 对话框编辑器 371 PNB E 18.15.6 控制对话框 377 <HfmNhI85( 18.15.7 更高级的对话框 380 U3^3nL-M9 18.16 Types语句 384 8#ZF<BY 18.17 打开文件 385 (`js/7[`H[ 18.18 Bags 387 IJk<1T7:(W 18.13 进一步研究 388
'E)g )@^ 19 vStack 389 >9+h2B
19.1 vStack基本原理 389 vUR@P
- 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ]j+J^g 19.3 五棱镜 393 2u%YRrp 19.4 光束距离 396 |@Ze{\
19.5 误差 399 1~ZFkcV_C 19.6 二向分色棱镜 399 O"ebrv 19.7 偏振泄漏 404 <3fY,qw 19.8 波前误差—相位 405 L#`Vr$ 19.9 其它计算参数 405 y[DS$>E 20 报表生成器 406 1a
t Q9 20.1 入门 406 r:U/a=V 20.2 指令(Instructions) 406 $)Ty@@7C 20.3 页面布局指令 406 'pHxO,vo 20.4 常见的参数图和三维图 407 *[+{KJ 20.5 表格中的常见参数 408 o#QS: '| 20.6 迭代指令 408 0]Qk *u< 20.7 报表模版 408 nC5]IYL| 20.8 开始设计一个报表模版 409 q+U&lw|"w 21 一个新的project 413 :zQNnq:| 21.1 创建一个新Job 414 X!|K 4Z!k 21.2 默认设计 415 f/vsf&^O 21.3 薄膜设计 416 Y<;KKD5P'j 21.4 误差的灵敏度计算 420 jL0=a.; 21.5 显色指数计算 422 ?#lHQT 21.6 电场分布 424 Vs9]Gm 后记 426 EQVa8xt/C 有兴趣扫码加微联系 I#:Dk?"O2
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