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mh 内容简介 g
:me:M Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ;w_f ^R # 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 elBmF#,j7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ,!RbFME&H ['SZe0 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 g0!{CW 目录 G=lket6 Preface 1 `E),G;I 内容简介 2 7]~65@%R-& 目录 i 0{PRv./` 1 引言 1 ;(0E#hGN 2 光学薄膜基础 2 3d2|vQx,K 2.1 一般规则 2 |oSx*Gh 2.2 正交入射规则 3 j<LDJi>O 2.3 斜入射规则 6 8Jd\2T7 h 2.4 精确计算 7 BQol>VRu 2.5 相干性 8 xCOC5f5*@ 2.6 参考文献 10 il \q{Y
o 3 Essential Macleod的快速预览 10 av&4:O! 4 Essential Macleod的特点 32 "@JSF 4.1 容量和局限性 33 X=<-rFW 4.2 程序在哪里? 33 Ifm|_ 4.3 数据文件 35 SV4a_m? 4.4 设计规则 35 72gQ<Si 4.5 材料数据库和资料库 37 S'jH 4.5.1材料损失 38 4$+9Wv 4.5.1材料数据库和导入材料 39 h] (BTb#- 4.5.2 材料库 41 R~$W 4.5.3导出材料数据 43 ?2b*FQe 4.6 常用单位 43 d5zF9;[ 4.7 插值和外推法 46 |d* K'+ 4.8 材料数据的平滑 50 c8cV{}7Kb 4.9 更多光学常数模型 54 (1r.AG`g 4.10 文档的一般编辑规则 55 tkFGGc}w\ 4.11 撤销和重做 56 =U6%Wdth 4.12 设计文档 57 d85\GEF9i 4.10.1 公式 58 |Go?A/' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Mb6#97 4.10.3 沉积密度 59 ^ $M@yWX6 4.10.4 平行和楔形介质 60 @Fp-6J 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 *uAsKU 4.10.4 性能 61 (Yzy;"iAu 4.10.5 保存设计和性能 64 g7*ii
X 4.10.6 默认设计 64 Fg3VD(D^U 4.11 图表 64 >9o(84AxIH 4.11.1 合并曲线图 67 paUlp7x 4.11.2 自适应绘制 68 "#4p#dM0e 4.11.3 动态绘图 68 un4q,Ac~0 4.11.4 3D绘图 69 e>-a\g 4.12 导入和导出 73 Jl^Rz;bQ- 4.12.1 剪贴板 73 etX&o5A 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =(f+geA"hm 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 [TAW68f' 4.13 背景 77 8*nl Wl9qo 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
=v4;t'_^ 4.15 生成Rugate 84 EK^B=)q6:W 4.16 参考文献 91 o0Z(BTO 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 =)Cqjp 5.1 Jobs 92 i,Yq
oe` 5.2 创建一个新Job(工作) 93 sN^3bfi!i 5.3 输入材料 94 VZ?"yUZ Id 5.4 设计数据文件夹 95 gO*:<B g 5.5 默认设计 95 fUh7PF% 6 细化和合成 97 B!|<<;Da6 6.1 优化介绍 97 FE+Y# 6.2 细化 (Refinement) 98 _zG9.?'b3 6.3 合成 (Synthesis) 100 @J~n$^ke 6.4 目标和评价函数 101 pA(B~9 WQ 6.4.1 目标输入 102 3siWq9. 6.4.2 目标 103 W+[XNIg5 6.4.3 特殊的评价函数 104 ew(CfW2 6.5 层锁定和连接 104 lsV9-)yyl 6.6 细化技术 104 Ju""i4 6.6.1 单纯形 105 KdT1Nb= 6.6.1.1 单纯形参数 106 re9*q
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 <MgR
x9 6.6.2.1 Optimac参数 108 MS~c
$ 6.6.3 模拟退火算法 109 bI)ItC_wf! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 MTZbRi6z 6.6.4 共轭梯度 111 " gB. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 FgIL Q"+ 6.6.5 拟牛顿法 112 p`//
*gl 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 *B7+rd 6.6.6 针合成 113 /5^"n4/M 6.6.6.1 针合成参数 114 /"A)}>a 6.6.7 差分进化 114 f\sxx!kt 6.6.8非局部细化 115 +@]b}W 6.6.8.1非局部细化参数 115 o8+ZgXct 6.7 我应该使用哪种技术? 116 DPuz'e* 6.7.1 细化 116 W+
tI(JZ 6.7.2 合成 117 (?SK< 4! 6.8 参考文献 117 6Q<^,`/T 7 导纳图及其他工具 118 | ,bCYK 7.1 简介 118 8*rd`k1|g 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ]:CU.M1 7.2.1 四分之一波长规则 119 c}iVBN6~.< 7.2.2 导纳图 120 ViV"+b#gu 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 "4c
?hH:C 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 s hbPy 7.5 斜入射导纳图 141 d,}fp) 7.6 对称周期 141 x`@!hJc:[e 7.7 参考文献 142 & 2MI(9v 8 典型的镀膜实例 143 {HKd="%VG 8.1 单层抗反射薄膜 145 `UFRv 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 (0s7<&Iu 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Nx~9Ug 8.4 W-膜层 148 (are2!Oq 8.5 V-膜层 149 w9I7pIIl 8.6 V-膜层高折射基底 150 k=,,s(]tx 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 W=T3spV 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 l6Hu(.Ls;j 8.9 四层抗反射薄膜 153 8$O=HE* 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 H=E`4E#k 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 yjZ]_. 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 uU v yZ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 BKDs3?& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 $:M *$r^u 8.15十五层宽带抗反射膜 159 -"qw5Y_oF? 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 J+f
.r|? 8.17 1/4波长堆栈 162 y,&UST 8.18 陷波滤波器 163 t3ua5xw 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 fj
X~"U 8.20 褶皱 165 c|<*w[%C 8.21 消偏振分光器1 169 Js7(TFQE 8.22 消偏振分光器2 171 74YMFI 8.23 消偏振立体分光器 172 h&eu}aF 8.24 消偏振截止滤光片 173 g z!q 8.25 立体偏振分束器1 174 =[%ge{ ,t 8.26 立方偏振分束器2 177 .<zW(PW 8.27 相位延迟器 178 OgJd^ 8.28 红外截止器 179 u"IYAyzL 8.29 21层长波带通滤波器 180 %2Q:+6) 8.30 49层长波带通滤波器 181 UpL1C~& 8.31 55层短波带通滤波器 182 Y 1a[HF^- 8.32 47 红外截止器 183 }:u" ?v=|j 8.33 宽带通滤波器 184 7%?2>t3~ 8.34 诱导透射滤波器 186 9{{QdN8 8.35 诱导透射滤波器2 188 +jzwi3B` 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 VU+` yQp 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 32!jF}qpD 8.35 增益平坦滤波器 193 *yJCnoF 8.38 啁啾反射镜 1 196 n<
UuVu 8.39 啁啾反射镜2 198 p2T%Zl_ 8.40 啁啾反射镜3 199 WP, Ll\K)7 8.41 带保护层的铝膜层 200 s%h|>l[lKT 8.42 增加铝反射率膜 201
4\'1j|nS[ 8.43 参考文献 202 D=}UKd 9 多层膜 204 q)%F#g 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 utIR\e#:B 9.2 内部透过率 204 /BB(riG 9.3 内部透射率数据 205 )cA#2mlS'1 9.4 实例 206 N
]/N}b 9.5 实例2 210 FqQqjA 9.6 圆锥和带宽计算 212 f,:SI&c\ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 &YQ 10 光学薄膜的颜色 216 \l^L?69 10.1 导言 216 ,ra!O=d~0 10.2 色彩 216 ,~^0AtLv 10.3 主波长和纯度 220 4W7 10.4 色相和纯度 221 H/8H`9S$ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 KT1/PWa 10.6 色差 226 9kmEg$WM 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 b-pZrnZ! 10.8 颜色渲染指数 234 \]Nlka 10.9 色差计算 235 z%xWP&3%" 10.10 参考文献 236 ~WH4D+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 oRl~x^[%[- 11.1 短脉冲 238 t']d_Vcza 11.2 群速度 239 +<5q8{]Pk 11.3 群速度色散 241 yuyI)ebC 11.4 啁啾(chirped) 245 rQ~7BlE 11.5 光学薄膜—相变 245 D$C >ZF 11.6 群延迟和延迟色散 246 3vx5dUgl, 11.7 色度色散 246 \Eq,4-q 11.8 色散补偿 249 [ kI|Thx 11.9 空间光线偏移 256 RTN?[` 11.10 参考文献 258 p=F!)TnJN 12 公差与误差 260 4DhGp 12.1 蒙特卡罗模型 260 E`#m0Q(8 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 I'pOB 12.2.1 误差工具 267 NfG<! 12.2.2 灵敏度工具 271
*&$J.KM 12.2.2.1 独立灵敏度 271 H CKD0xx 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?y1']GAo 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 p,_,o3@~ 12.3 参考文献 276 0p6 13 Runsheet 与Simulator 277 {Ju 13.1 原理介绍 277 L $R"?O7 13.2 截止滤光片设计 277 !*2cK>` 14 光学常数提取 289 SU,S1C_q8 14.1 介绍 289 8 xfn$ 14.2 电介质薄膜 289 KGsS2 14.3 n 和k 的提取工具 295 50,`=Z 14.4 基底的参数提取 302 k'O^HMAn! 14.5 金属的参数提取 306 =Uy;8et 14.6 不正确的模型 306 HEqTlnxUu 14.7 参考文献 311 O&DkB*- 15 反演工程 313
s3nt12 15.1 随机性和系统性 313 G- _h 2 15.2 常见的系统性问题 314 W 7xh 15.3 单层膜 314 .3xpDVW^e 15.4 多层膜 314 kV>[$6 15.5 含义 319 m Acny$u 15.6 反演工程实例 319 ;/ wl.'GA 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 s
&4k 15.6.2 反演工程提取折射率 327 6I)[6R 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 --S1p0 16.1 光学性质的热致偏移 329 X#;n Gq)5 16.2 应力工具 335 9jwcO)p^ 16.3 均匀性误差 339 c@SNbY4}% 16.3.1 圆锥工具 339 k2bjBAT 16.3.2 波前问题 341 Z;=h= 16.4 参考文献 343 Zv[D{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 +0,'B5 (E 17.1 引言 345 z@bq*':~J 17.2 操作数 345 AN193o 18 如何在Function中编写脚本 351 PjwDth
A1 18.1 简介 351 3H^0v$S 18.2 什么是脚本? 351 BZJ\tPSR 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ;$a+ > 18.4 基础 352 T]er_n 18.4.1 Classes(类别) 352 _ MsO2A 18.4.2 对象 352 Bb[WtT}= 18.4.3 信息(Messages) 352 ye<b`bL2. 18.4.4 属性 352 [zC1LTXe 18.4.5 方法 353 q?R^~r 18.4.6 变量声明 353 x3>ZO.Q 18.5 创建对象 354 $Cgl$A 18.5.1 创建对象函数 355 [Sr^CYP( 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 bk(q8xR` 18.5.3 丢弃对象 356 t4;eabZK 18.5.4 总结 356 rt rPRR\:" 18.6 脚本中的表格 357 MQc<AfW3/ 18.6.1 方法1 357 y ;/T.W9! 18.6.2 方法2 357 f-.dL 18.7 2D Plots in Scripts 358 7`s*
{ 18.8 3D Plots in Scripts 359 f 7R/i 18.9 注释 360 ]iU8n (5f 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Fe[)-_%G 18.11 一个更高级的脚本 362 T\ *#9a 18.12 <esc>键 364 uI9eUO 18.13 包含文件 365 F_U9;*f] 18.14 脚本被优化调用 366 ^l:~r2 18.15 脚本中的对话框 368 [X9T$7q#
18.15.1 介绍 368 3 as~yF0 18.15.2 消息框-MsgBox 368 .B+Bl/ 18.15.3 输入框函数 370 /IxoS 18.15.4 自定义对话框 371 C6?({
QB@ 18.15.5 对话框编辑器 371 f7lt|.p 18.15.6 控制对话框 377 $+k|\+iJ 18.15.7 更高级的对话框 380 vh$If0 18.16 Types语句 384 /~(T[\E< 18.17 打开文件 385 oW5Ov 18.18 Bags 387 7z2Q!0Sz 18.13 进一步研究 388 '^n,)oA/G 19 vStack 389 &ir|2"HV 19.1 vStack基本原理 389 ~GLWhe-
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 w4Uo-zr@ 19.3 五棱镜 393 I!?)}d 19.4 光束距离 396 n#l~B@ 19.5 误差 399 HJi
FlL3 19.6 二向分色棱镜 399 6`h}#@ ( 19.7 偏振泄漏 404 l\/uXP? 19.8 波前误差—相位 405 erQQ_ 19.9 其它计算参数 405 q)l1tC72 20 报表生成器 406 Zv0'OX~8i 20.1 入门 406 j].=,M<dxE 20.2 指令(Instructions) 406 MpVZL29) 20.3 页面布局指令 406 BvLC% 20.4 常见的参数图和三维图 407 @CtnV| 20.5 表格中的常见参数 408 &s(mbpV 20.6 迭代指令 408 s$JO3-) 20.7 报表模版 408 w)Xn MyD(P 20.8 开始设计一个报表模版 409 kt#t-N;}x 21 一个新的project 413 HEk{!Y 21.1 创建一个新Job 414 {UFs1 21.2 默认设计 415 rQ-,mq 21.3 薄膜设计 416 ri2`M\;gt 21.4 误差的灵敏度计算 420 KY%LqcC 21.5 显色指数计算 422 &R))c|>OT& 21.6 电场分布 424 >g;995tG 后记 426 #Q1
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