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U?le|tK 内容简介 XGR2L
DR Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $jg[6`L$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 w\o6G7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !SW0iq[7j 1vj@qw3 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ,<t.Iz% 目录 z7bJV/f Preface 1 ~3?-l/ $ 内容简介 2 PJC(:R(j 目录 i W3tin3__
1 引言 1 E5n7
< 2 光学薄膜基础 2 6I
+0@,I 2.1 一般规则 2 {x_.QWe5 2.2 正交入射规则 3 E(4c& 2.3 斜入射规则 6 .Rk8qRB 2.4 精确计算 7 /=m AVA 2.5 相干性 8 @/.#
/ 2.6 参考文献 10 UrizZ5a 3 Essential Macleod的快速预览 10 !HDb{f 4 Essential Macleod的特点 32 G|rE\h 2w 4.1 容量和局限性 33 FfJ;r'eGs 4.2 程序在哪里? 33 ~4{q 4.3 数据文件 35 ju{Y6XJ) 4.4 设计规则 35 djOjd, 4.5 材料数据库和资料库 37 Y7}Tuy dC 4.5.1材料损失 38 !Zj]0,^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 +M0pmK! 4.5.2 材料库 41 ~DInd-<5 4.5.3导出材料数据 43 <#C,66k 4.6 常用单位 43 pX SShU# 4.7 插值和外推法 46 w+R/>a(] 4.8 材料数据的平滑 50 kL*P 3
0 4.9 更多光学常数模型 54 <u!cdYo@ 4.10 文档的一般编辑规则 55 1y'Y+1.< 4.11 撤销和重做 56 -+rzc&h 4.12 设计文档 57 n^4R]9U 4.10.1 公式 58 (?r,pAc: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 0hemXvv1 4.10.3 沉积密度 59 aV'bI 4.10.4 平行和楔形介质 60 {JgY-#R?{( 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 z$%twBg}# 4.10.4 性能 61 N; g@lyo 4.10.5 保存设计和性能 64 7Bp7d/R- 4.10.6 默认设计 64
':vZ& 4.11 图表 64 LORcf 1X/ 4.11.1 合并曲线图 67 Z10Vx2B 4.11.2 自适应绘制 68 8z#Qp(he 4.11.3 动态绘图 68 z%wh|q 4.11.4 3D绘图 69 4nsJZo#S/ 4.12 导入和导出 73 ~5N}P>4* 4.12.1 剪贴板 73 WA`A/`taT 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 arYq$~U 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ljKIxSvCFp 4.13 背景 77 qiNVaV\wr| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 JXB)'d0 4.15 生成Rugate 84 l[/`kK 4.16 参考文献 91 ~#pATPW@( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 SGAzeymw 5.1 Jobs 92 *LEy#N 5.2 创建一个新Job(工作) 93 *&NP?-E 5.3 输入材料 94 .Kb3VNgwvm 5.4 设计数据文件夹 95 }UhYwJf89 5.5 默认设计 95 u:l-qD9=( 6 细化和合成 97 ~bLx2=-" 6.1 优化介绍 97 k;l3^kTy 6.2 细化 (Refinement) 98 3Qy@^" 6.3 合成 (Synthesis) 100 <Y]LY_( 6.4 目标和评价函数 101 G !q[NRu 6.4.1 目标输入 102 ue_wuZi 6.4.2 目标 103 gQn%RPMh 6.4.3 特殊的评价函数 104 1$>+rW{a 6.5 层锁定和连接 104 m@Z# 6.6 细化技术 104 OEW'bT) 6.6.1 单纯形 105 9bM\ (s/
6.6.1.1 单纯形参数 106 :7v'[b 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Met]|& 6.6.2.1 Optimac参数 108 23}` e 6.6.3 模拟退火算法 109 n>Ff tVZNJ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 0,%{r.\S 6.6.4 共轭梯度 111 b,xZY1a 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 jeC=s~ 6.6.5 拟牛顿法 112 f"ezmZI 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ]S6Gz/4aV+ 6.6.6 针合成 113 }Le]qR9Y] 6.6.6.1 针合成参数 114 6Tl6A>%s 6.6.7 差分进化 114 -o ).< 6.6.8非局部细化 115 7UfNz60+~ 6.6.8.1非局部细化参数 115 .GrOdDK$ns 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ]5ZXgz 6.7.1 细化 116 '~[8>Q> 6.7.2 合成 117 M>AxVL 6.8 参考文献 117 `'YX>u / 7 导纳图及其他工具 118 @>2pY_ 7.1 简介 118 /DQYlNa 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 S_ATsG*( 7.2.1 四分之一波长规则 119 ] ,|,/~ 7.2.2 导纳图 120 #D`@G8~( 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 d][
Wm 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $dL..QH^K 7.5 斜入射导纳图 141 '}.Yf_ 7.6 对称周期 141 `w@:h4f 7.7 参考文献 142 9K+>;` 8 典型的镀膜实例 143 \@<7Vo, 8.1 单层抗反射薄膜 145 At Wv9 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {r^_ g(.q 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 zx.qN 8.4 W-膜层 148 /5@YZ?|#2 8.5 V-膜层 149 RTOA'|[0M 8.6 V-膜层高折射基底 150 @Cj!MZ=T 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 :#rP$LSYC 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 [|(|"dh@^H 8.9 四层抗反射薄膜 153 o4Q?K.9c 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 A}9Z%U 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 (5yM%H8: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 j}+3+ 8D 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 `[/#,*\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 AxEyXT( h5 8.15十五层宽带抗反射膜 159 5zl+M` 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8!_jZ f8 8.17 1/4波长堆栈 162 T+Oqd\05.+ 8.18 陷波滤波器 163 ,-UF5U 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 u?^V4 +V 8.20 褶皱 165 MxE]EJZ 8.21 消偏振分光器1 169 ^m\o(R 8.22 消偏振分光器2 171 }[p{%:tP 8.23 消偏振立体分光器 172 cx\"r 8.24 消偏振截止滤光片 173 sy&[Q{,4 8.25 立体偏振分束器1 174 i)i>Ulj*i 8.26 立方偏振分束器2 177 ~A0]vcP 8.27 相位延迟器 178 4Gu'WbJ 8.28 红外截止器 179 `+H=3`}X 8.29 21层长波带通滤波器 180 xR+vu>f 8.30 49层长波带通滤波器 181 *$Q>Om] 8.31 55层短波带通滤波器 182 74%vNKzc~ 8.32 47 红外截止器 183 k/K)nH@) 8.33 宽带通滤波器 184 (NJ{>@& 8.34 诱导透射滤波器 186 jPh<VVQ$@ 8.35 诱导透射滤波器2 188 .3
EZk86 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 xT*'p&ap 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 {R1]tGOf 8.35 增益平坦滤波器 193 yV^Yp=f_ 8.38 啁啾反射镜 1 196 -^p{J
TB+ 8.39 啁啾反射镜2 198 (:oF\ 8.40 啁啾反射镜3 199 j7I=2xnTWu 8.41 带保护层的铝膜层 200 @6
he!wW 8.42 增加铝反射率膜 201 V?mP7 8.43 参考文献 202 4I4m4^ 9 多层膜 204 K@.5
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 sY]J!" 9.2 内部透过率 204 sW>%mnx 9.3 内部透射率数据 205 -&/?&{Q0 9.4 实例 206 C,| & 9.5 实例2 210 9{Hs1MD[ 9.6 圆锥和带宽计算 212 =z1Lim- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [$y(>]~. 10 光学薄膜的颜色 216 K?.~}82c 10.1 导言 216 vs@d)$N 10.2 色彩 216 bZowc {!\ 10.3 主波长和纯度 220 !I7$e&Uz@ 10.4 色相和纯度 221 Ycr3$n]e 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ~Ntk-p 10.6 色差 226 $|$@?H>K 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 +t!]nE# 10.8 颜色渲染指数 234 y0%@^^-Ru 10.9 色差计算 235 d4y#n=HnnV 10.10 参考文献 236 :H}iL* 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 j0l,1=^>l 11.1 短脉冲 238 xm m,-u 11.2 群速度 239 /~LE1^1&U 11.3 群速度色散 241 ing'' _ 11.4 啁啾(chirped) 245 G(E1c"? 11.5 光学薄膜—相变 245 ;c 7I "?@z 11.6 群延迟和延迟色散 246 [$dVs16K 11.7 色度色散 246 U,rI/' 11.8 色散补偿 249 t{})6 11.9 空间光线偏移 256 J6 ~Sr 11.10 参考文献 258 b4L7M1l 12 公差与误差 260 Ez1eGPVr 12.1 蒙特卡罗模型 260 C[FHqo9M?H 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 7D'\z
IW 12.2.1 误差工具 267 r-qe7K@p 12.2.2 灵敏度工具 271 C4m+Ta% 12.2.2.1 独立灵敏度 271 1}VaBsEV 12.2.2.2 灵敏度分布 275 A
mZXUb 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 f2gtz{r 12.3 参考文献 276 `KQx#c>' 13 Runsheet 与Simulator 277 ()lgd7|+ 13.1 原理介绍 277 !)a_@d.;i 13.2 截止滤光片设计 277 eWH0zswG 14 光学常数提取 289 '#Wx@ 14.1 介绍 289 1/$PxQ 14.2 电介质薄膜 289 :Xw|v2z%3 14.3 n 和k 的提取工具 295 D]~K-[V?l 14.4 基底的参数提取 302 :zL)O 14.5 金属的参数提取 306 CE"/&I 14.6 不正确的模型 306 Sca"LaW1 14.7 参考文献 311 Nd0tR3gi7 15 反演工程 313 Tm"H9 15.1 随机性和系统性 313 J|WE&5' 15.2 常见的系统性问题 314 -y.cy'$f 15.3 单层膜 314 IO)Y0J>x 15.4 多层膜 314 :1 +Aj
( 15.5 含义 319 dIC\U 15.6 反演工程实例 319 fD!c t; UK 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %lCZ7z2o 15.6.2 反演工程提取折射率 327 m]qw8BoU`F 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 gWj-@o\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 /WQ.,a 16.2 应力工具 335 ;L-=z]IR, 16.3 均匀性误差 339 ~"+"6zg 16.3.1 圆锥工具 339 '!m6^*m|c 16.3.2 波前问题 341 qO{z{@jo55 16.4 参考文献 343 TgkVd]4% 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 MCN>3/81 17.1 引言 345 qzW3MlD 17.2 操作数 345 12 p`ZD= 18 如何在Function中编写脚本 351 <Km9Mq 18.1 简介 351 |~Dl<#58 18.2 什么是脚本? 351 rC8p!e.yL 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ox-m)z `7 18.4 基础 352 3 =enk0$ 18.4.1 Classes(类别) 352 #xtH6\X 18.4.2 对象 352 4*EMd!E=< 18.4.3 信息(Messages) 352 }40T'y 18.4.4 属性 352 ^hLr9k 18.4.5 方法 353 U F"%FF 18.4.6 变量声明 353 P%|~Ni_BTX 18.5 创建对象 354 ?V6,>e_+ 18.5.1 创建对象函数 355 iil<zEic 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 hYoUZ'4 18.5.3 丢弃对象 356 .UPh 18.5.4 总结 356 %IsodtkDu 18.6 脚本中的表格 357 =WTSaC 18.6.1 方法1 357 z +MH co" 18.6.2 方法2 357 oC5h-4~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 P&0eu 18.8 3D Plots in Scripts 359 6n]+(= 18.9 注释 360 t/;2rIx> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
33oW3vS 18.11 一个更高级的脚本 362 d]DV\*v 18.12 <esc>键 364 U3_${ 18.13 包含文件 365 W3le)& 18.14 脚本被优化调用 366 qFm w9\Fn 18.15 脚本中的对话框 368 W,4!"*+ 18.15.1 介绍 368 v#,queGi 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ?[JP[
qS 18.15.3 输入框函数 370 {SV/AN 18.15.4 自定义对话框 371 /DAR'9@h 18.15.5 对话框编辑器 371 $INB_/RE 18.15.6 控制对话框 377 &jJu=6 U
B 18.15.7 更高级的对话框 380 kX8C'D4 gX 18.16 Types语句 384 c!IZLaVAr9 18.17 打开文件 385 `nF SJlr& 18.18 Bags 387 /2p*uv}IP 18.13 进一步研究 388 !Gmnck&+ 19 vStack 389 ?+]=|hN 19.1 vStack基本原理 389 |.k'?! 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 `*s:[k5k 19.3 五棱镜 393 !Se0&Ob 19.4 光束距离 396 c5ij2X|I 19.5 误差 399 DhE-g< 19.6 二向分色棱镜 399 JLu$1A@ ' 19.7 偏振泄漏 404 KW:N
6w 19.8 波前误差—相位 405 t]HY@@0g 19.9 其它计算参数 405 #*g=F4>t 20 报表生成器 406 *qzdt^[ xo 20.1 入门 406 ]y@A=nR 20.2 指令(Instructions) 406 6q^$}eOt 20.3 页面布局指令 406 q%sZV> 20.4 常见的参数图和三维图 407 HPphTu}` 20.5 表格中的常见参数 408 3m>YR-n$ 20.6 迭代指令 408 NzT
&K7v 20.7 报表模版 408 Jxvh; 20.8 开始设计一个报表模版 409 .8YxEnXw)( 21 一个新的project 413 >eTbg"\ 21.1 创建一个新Job 414 =gj?!d` 21.2 默认设计 415 A4"TJZBg} 21.3 薄膜设计 416 d6MWgg 21.4 误差的灵敏度计算 420 BgXZr,? 21.5 显色指数计算 422 FOF@@C~aH 21.6 电场分布 424 72, m c 后记 426 W1REF9i){
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