白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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i: h#rziZ( 1. 建模任务 hUGP3ExC* $UGX vCR 2. 干涉条纹的变化
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R<n'v.~"A /KH,11)yc 3. VirtualLab Fusion概览 m_g2Cep fTg^~XmJ HTU?hbG( 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 7[?{wbq 设置输入场
wz=c#}0dB WvJidz?5 定义组件的位置和方向
ii:E>O(0B -kz9KGkPb+ 正确设置通道以进行非顺序跟踪
.8EaFEd Tweku}D7 使用
参数运行检查影响/变化
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8\/$cP"<^ I c 2R\}q 5. VirtualLab Fusion 技术 W2F *+M sbi+o,%1