6BDt.bG UppBnw z7-`Y9Ypd 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
:|Z$3q {SF[I 设计任务 M-{*92y&
| Up<~0 +p13xc?#j g(mxhD!k 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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t/ 扫描参数空间以获取初始解 q\a[S*
o:_^gJ+|
M(qxq(#{U 92!JKZe
初始解#1的参数优化 Q(lku"U'
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+AB6lv 3@&bxYXm 最终设计#1的性能分析 >B0D/:R9
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'g]hmE bFSlf5*H 初始解#2的参数优化 jRofG'
1xz\=HOT
Ejq=*UOP SC'BmR"ox 最终设计#1的性能分析 "ml?7Xl,n 2A*/C7 5|{)Z]M%9 O:1DOUYXs VirtualLab Fusion一瞥 Y[Es
R8tF/dx>7
eK9TAW B#]_8svO VirtualLab Fusion中的工作流程 VMx%1^/( gC`)]*'tE 构建
光栅结构
wy''tqg6 9UP:J0 ` 分析光栅
衍射效率
/KAlK5< U h.Sc:trA 使用参数运算寻找初始解
;+
G9- s;J\Kc?"| 使用参数优化确定最终解
va5FxF*% 4b4QbJ$ VirtualLab Fusion技术 CN/IH
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