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"q'9-lk ^KK9T5H 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
1zz.`.R2U m{ya%F 设计任务 5[1#d\QR jNO8n)a&p
4
Ii@_r> WecJ^{g>r{ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
TYs#v/)I (ex^=fv 扫描参数空间以获取初始解 $S|2'jc
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c=-2c&=& H=7z d|W 初始解#1的参数优化 N,><,7!q$,
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<_|H]^o B-OuBS,fwC 最终设计#1的性能分析 d\cwUXf
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Z_^v#FJ'l Nr#Y]9nA 初始解#2的参数优化 x_&m$Fh
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YS_9M Pi c0 H8FF3 最终设计#1的性能分析 &<u
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[|sKu#yW l7]$Wc[ VirtualLab Fusion一瞥 AR}M*sSh
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GM/3*S$c >e4 VirtualLab Fusion中的工作流程 n
^T_pqV?X KAg<s}gQJ 构建
光栅结构
=f)S=0U F YLlw:jN 分析光栅
衍射效率
r|Y|uv0 PAe2hJ 使用参数运算寻找初始解
':7%@2Zo Y[Gw<1F_ 使用参数优化确定最终解
N_vVEIO9 6,Q{/ VirtualLab Fusion技术 n7vLw7
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