[求助]蒸鍍AS/AF的問題 [复制链接]

机型:OPTORUN1850 j#f+0  
AS膜厚15nm. Vl%AN;o  
外圈AS可达规水接触角110度，但是内圈都达不到，有什么改善方法吗? osoreo;V^  
恳求指教!!!

蒸发源抬高试一试？或者增加厚度

蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 CoDu|M%  
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。 *;"N kCf  
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另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 Z.am^Q^Y!  
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸

路过学习看看呢

学习看看呢

ouyuu:蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 SQ|pH"  
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。
另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 QW#]i  
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸 (2022-12-01 21:36)  `)e;bLP  

F,Y,0f@4U9  
真空度是越低较好，还是越高较好?

联系我   YKWQAZWSX ?g%5 d  

danieltsai06:真空度是越低较好，还是越高较好? (2022-12-05 11:08)  H6E@C}cyM  

rg+28tlDn  
真空度代表了蒸发源的平均自由程，平均自由程影响分布。 @+~=h{jv<  
真空度越高平均自由程越大，这样到达远端的材料就越多。 GlP [:  
3U<\y6/  
只能说影响分布，具体分布哪部分增多哪部分减少， 8+Al+6d|!  
还要看具体的蒸发源位置，伞形，伞的高度，排气口高度等等

换材料，增加厚度

厚度不够，换材料