[求助]蒸鍍AS/AF的問題 [复制链接]

机型:OPTORUN1850 LtQy(F%8/  
AS膜厚15nm. PD?H5W3@  
外圈AS可达规水接触角110度，但是内圈都达不到，有什么改善方法吗? zSO[f  
恳求指教!!!

蒸发源抬高试一试？或者增加厚度

蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 dM') <lF  
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。 %(E6ADB  
-zkB`~u_  
另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 S:d`z'  
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸

路过学习看看呢

学习看看呢

ouyuu:蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 9\;EX  
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。
另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 #4Z$O(  
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸 (2022-12-01 21:36)  v`fUAm/  

/x-t-}  
真空度是越低较好，还是越高较好?

联系我   YKWQAZWSX (u_sz  

danieltsai06:真空度是越低较好，还是越高较好? (2022-12-05 11:08)  Hke\W'&  

?/wloLS47  
真空度代表了蒸发源的平均自由程，平均自由程影响分布。 EAfSbK3z  
真空度越高平均自由程越大，这样到达远端的材料就越多。 7'I
7  
h(L5MZs  
只能说影响分布，具体分布哪部分增多哪部分减少， 6i
4j(P  
还要看具体的蒸发源位置，伞形，伞的高度，排气口高度等等

换材料，增加厚度

厚度不够，换材料