[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

h] TVi$J  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 v@1Jhns  
,7nb;$]  
.B-,GD}  
     n~cm?"
 
设计任务 zgO
wSg8  
<u%e*  
Jy[8,X  
RpXGgw  
1级参数优化 lSv;wwEg  
@9P9U`ZP  
b6M)qt9R  
Q6<Uuiw  
结果-容差分析 =@/^1.`  
JWjp<{Q;1  
BQmafpp`  
DMpd(ws  
结果-容差分析 BJ2W}R  
l]=$<  
1ORi]`  
n&&U9sf?  
VirtualLab Fusion一瞥 `%:(IGxz  
5Jd {Ev  
d(tf:@  
W
C;a  
VirtualLab Fusion中的工作流程 zC;lfy{f=  
m8A1^ R  
构建光栅结构 xJ5!`#=  
^moIMFl  
RLX^'g+P  
•光栅衍射效率分析 UoT}m^ G  
l+qtA~V&2  
•使用参数优化进行光栅参数优化 Pu*UZcXY  
•使用参数运行的容差分析 VQ}3r)ch  
md LJ,w?{  
wA&)
y>n-  
8
uW:_t]q  
VirtualLab Fusion技术 dR{ V,H7N  
-{mq\GvGn