[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

(/t{z=  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ,">CPl]  
-OKXfN]  
yBv4 xKMH  
     7ks!0``  
设计任务 3Gw*K-.  
Q^?$2ck=  
JxM32?Rm*w  
[d>2F  
1级参数优化 g|4>S<uC  
XSx'@ qH  
T/J1 b-  
A v;NQt8ut  
结果-容差分析 <Oy2JjY  
l SuNZYaO  
>gn@NJ2N  
<UGM/+aO  
结果-容差分析 pNu?DF{ 3  

2<V`  
|t#s h  
i"E_nN"V  
VirtualLab Fusion一瞥 Z hCjY  
ZOx;]D"s  
Z1(!syg  
K;TTGK  
VirtualLab Fusion中的工作流程 |47 2X&e  
=Fq{#sC>  
构建光栅结构 x'%vL",%  
: >$v@d  
`1FNs?j  
•光栅衍射效率分析 1Eryw~,,9i  
+hH7|:JQ  
•使用参数优化进行光栅参数优化 V{}TG]  
•使用参数运行的容差分析 RGY#0.Z}  
!wro7ilMB
 
-YipPo"a  
f uH3C~u7<  
VirtualLab Fusion技术 c5[~2e  
?9*[\m?-