扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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ZPh%x 3y?ig2 h^5'i}@u 仿真干涉条纹 HBL)_c{/O $CVbc% {=><@]N 走进VirtualLab Fusion 9)QvJ87e@7 <Ep-aRI
|T9p#) ec2 08S|$_ VirtualLab Fusion中的工作流程 S0~F$mP' 7b,u|F •设置输入场
j%KLp4J/e ht S5<+Y •使用导入的数据自定义表面轮廓
)A['+s •定义元件的位置和方向
Nze#u; Px}#{fkS •正确设置通道以进行非
序列追迹
D;|4ZjM- d*T;RBk •使用
参数运行检查影响/变化
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